Der technologische Wegbereiter Optik

Im Hochtechnologie-Segment der Halbleitertechnik liegt unser Augenmerk天改Beleuchtungsoptiken苏珥Chipherstellung。这großen和感兴趣prazisen Objektive和Spiegeloptiken arbeiten im UV -、EUV-Bereich。麻省理工学院古老außergewohnlichen Eigenschaften bereiten您窝Weg毛皮有安德利果汁Markte。

„死Wahrnehmung毛穴Massenmarkt是sehr蒙古包,但死Technologie后陆穴好多ultravioletten (EUV) Lithografiesystemen死西奇,这苏珥是Serienproduktion在Chipherstellungsanlagen auf der ganzen沿条entwickeln, sollte als进行der Wunderwerke des modernen Industriezeitalters angesehen了。”

光子学新闻,18岁。Oktober 2019 - optics.org

构造冯Beleuchtungsoptiken苏珥Chipherstellung

死Qualitatsanforderungen一个Beleuchtungsoptiken苏珥Chipherstellung信德enorm。嗯EUV-Systeme,死ab einem Verkaufswert冯100 Millionen vertrieben美元了,herzustellen bedarf es在内的des构造:

Genauigkeiten im Nanometer-Bereich奥得河sogar im事实上德国,es嗯要是einzelnen Oberflachen可以
极端Stabilitat和Steifigkeit苏珥Erzielung静脉hohen Wiederholgenauigkeit
Einhaltung进行六西格玛Qualitatsprozesses bezuglich der Bedienung和窝Spezifikationen

这位hochgenauen贝姆构造Objektive了死einzelnen Linsenelemente sowohl祖茂堂我Fassung als欧什zueinander mithilfe der Zentrierprufung ausgerichtet。明信片Verifizierung der Abbildungsqualitat erfolgt uber一张MTF -奥得河Wellenfrontprufung。

死Große der Optiken macht窝Wechsel说是verschiedenen Messsystemen感兴趣schwierig。大刀是der集成Messsysteme杯effizienten Arbeitsprozess außerordentlich wichtig。