µ阶段®
用于测量表面和波前变形的干涉仪
μPhase®干涉仪可以快速、高精度地测量由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和发射元件的表面和波前变形。客观可靠的结果符合最高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止样品损坏。
高度精确的
Mulitpurpose
可靠的
产品概述
μ阶段®干涉仪是一种非常紧凑、小巧、轻便的数字设备，几乎可以在任何工作环境中使用。在μShape软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。
μ阶段®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可以配置各种测量直径，并适用于特定的测量任务。此外，还可以提供低成本的定制解决方案。
µ阶段®3.1 / 3.2/3.3。
高度灵活的
Twyman Green干涉仪传感器µPhase®可用于不同分辨率的相同设计，并可集成到您的设置中。
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聚焦和调整表面反射率是可能的(µPhase®3.3只有)
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制造机器和生产线的集成是可能的
µ阶段®垂直3
多才多艺的
高度灵活和装备齐全的干涉仪系统，用于制造、车间和实验室
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电动垂直z轴
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独特的设计，适用于所有类型的反射和透射测量
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综合自动半径测量
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紧凑的设计，垂直测量结构，适合小空间
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由于综合倾斜和X-Y平移表，最佳样本对齐
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模块化设计，根据测量要求进行优化
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可选:使用托盘架和电动X-Y支架，一次自动测量多个样品的表面和半径
µ阶段®垂直专业
自动化
与它的托盘，μ相®VERTICAL PRO可自动测量20 ~ 30个样品。
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测量球面，环面和非球面透镜以及玻璃，塑料或金属样品
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样品半径最高精度可达50毫米
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可自由配置和快速交换样品架
µ阶段®普莱诺了
结构紧凑
µ阶段®PLANO DOWN具有紧凑的设计，适用于研究和开发以及生产中的平面组件的测量
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直径可达150毫米的测量范围
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样品放在花岗岩板上，从顶部开始测量
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由于机组有坚固的花岗岩底座，通常不需要隔振
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设计紧凑，占地面积小
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由于立柱高度可调，操作方便
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也可以由未经训练的人员使用，由于其直观和容易操作
µ阶段®普莱诺了
在生产中规划镜片
用于生产过程中光学平面的成本效益质量控制®PLANO UP是完美的选择。
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直径可达100毫米的测量范围
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紧凑的设计，适用于小空间，可直接放置在生产机器旁边
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样品放置在设备顶部的环形卡盘或三点支撑上，从下面测量
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耐振动
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串行测量不需要中间调整
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也可以由未经训练的人员使用，由于其直观和容易操作
µ阶段®球面上
生产中的球体
球形表面可以在生产中快速和经济有效地控制®球面。
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直径可达50毫米的测量范围
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紧凑的设计，适用于小空间，可直接放置在生产机器旁边
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样品放置在设备顶部的环形卡盘或三点支撑上，从下面测量
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耐振动
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串行测量不需要中间调整
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也可以由未经训练的人员使用，由于其直观和容易操作
µ阶段®圣/圣+ R
灵活且具有成本效益
µ阶段®ST/ST+R可以在研发和生产中灵活和经济有效地使用。
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测量平面和球形样品
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紧凑的桌面支架垂直测量，占地面积小
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最佳的样品对准集成尖端/倾斜和xy平移阶段
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纵轴粗微调，调整精度高
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可选:半径数字测量单元
µ阶段®通用
最高的可变性
由于其多用途结构和模块化设计®UNIVERSAL在研发方面提供了最高的可变性
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2、4或6英寸测量系统，用于测试平面和球面
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水平结构适用于长半径的测量
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兼容其他传统的4英寸镜头
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可选CGH支架用于测量非球面，圆柱或环面
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根据要求进行MTF和同质性测量
µ阶段®定制解决方案
针对应用程序的开发
其模块化结构和紧凑的设计使µPhase®一个高度通用的干涉仪-甚至超出通常的测量要求。
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针对特殊应用，可基于标准组件实现定制化解决方案
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开发额外的定制组件和软件模块
对于超出通常测量要求的应用，TRIOPTICS为特定应用系统的开发提供全面的支持。其模块化的结构和紧凑的设计使μPhase®多功能干涉仪。这意味着可以基于标准组件实现针对特殊应用的定制解决方案。我们选择所需的组件，并让我们的应用程序和软件工程师在必要时开发额外的定制组件和软件模块。
应用程序
µ阶段®干涉仪可实现以下测量和应用:
- 测量平面，球面，圆柱，环面和非球面反射
- 测量球面、环面和非球面透镜的绝对半径
- 自适应镜像测试
- 透明样品波前变形的测量
- 隐形眼镜的测量和成型工具
- 超精密金刚石车床换刀后刀具偏移量的快速离线或在线测量
- 大量高精度，非光学元件的测试
- 汽车应用程序
- 医学应用
软件
µ形状
干涉仪的软件
使用当前版本8中可自由配置的µShape软件，µPhase®是理想的装备，用于生产以及研究和开发。该软件控制测量，提供全面的分析选项，并提供完整的文档。度量模板提供度量过程的最大透明度，并允许快速记录测试结果。
结构清晰，基于菜单的用户界面μ Shape始终符合μ Phase的综合使用®并且可以通过可用的模块以许多不同的方式进行扩展。这些模块可以在任何时候添加，甚至在购买µPhase之后®系统。
µShape软件主要是为µPhase开发的®操作也可用于操作其他厂家的实验室和车间干涉仪。定制功能的开发是可能的。
- 不同的访问级别允许用户特定的访问选项，从管理员到生产用户
- 全面的、具体的直接帮助
- 易于使用和较少的培训，用户需要由于容易配置的模板，任何类型的测量任务和分析
- 舒适的重新分析选项保存的测量，无需重新测量
- 轻松存储图形在各种图形格式(bmp, jpg等)
- 将单个参数或选定数据字段快速导出为文本文件、二进制文件或其他常用文件格式(例如QED、Zygo XYZ、DigitalSurf、INT)，用于外部处理
- 与MetroPro兼容的文件格式扩展了任务描述中的示例参数
- 一个额外的二维多项式拟合
- 测量报告提供了结果的全面显示，并且可以以各种方式进行配置，包括客户标识
- 通过单独的校准和测量过程可视化，清晰地结构化地展示程序模式
- 全面表示测量参数为测量值，图形2D或3D或自由选择的截面图形(1D)，包括集成的实时摄像机图像
- 通过存储所有参数和设置，包括窗口大小和位置，在µShape™程序文件中的示例文件，快速测量重复部件
- 灵活和自定义屏幕显示，适应任何显示器尺寸
- 现场图像:显示在第二个屏幕作为一个额外的窗口
- 始终通过持续开发和定期更新的最新技术-按要求或作为软件统一费率
- 完全兼容Windows 10(64位和32位系统)
“非球面”:在球面或CGH装置中的非球面分析
- 非球面模块允许在计算机生成全息图(CGH)的帮助下分析非球面设置中的强非球面，以及在球面设置中分析弱非球面。可以输入和保存非球面的描述。支持各种格式(旋转对称)。剩余的调整误差以及系统设置误差由非球面调整配合补偿。
气缸:气缸分析
- 圆柱体模块分析圆柱体样品在圆柱体设置(与CGH)。剩余的调整误差由圆柱调整配合补偿。
“Extern Interface”:对外通信接口
- 外部接口模块允许µShape™和外部软件(如LabVIEW™)之间的通信，以便通过外部程序(例如在自动化系统中)控制干涉仪
“FastFringe”:静态条纹分析
- 该模块可以在不稳定的环境中或使用无移相装置的干涉仪对单个干涉图进行测量分析。
《光纤连接器》:光纤连接器分析
- 光纤连接器模块允许根据国际IEC公约分析光纤连接类型PC(物理接触)的端面。主要参数是通过一次测量收集的;这包括一个可选的通过/失败分析显示。
“同质性”:测量透明样品的同质性
- 影响通过样品的光路的两个方面，即均匀性(折射率的变化)，以及厚度的变化，都可以在单独的编程模式中确定。
Math Mode:数学模式
- 这种程序模式允许对各种数据分配进行分析，并结合数学计算对结果进行额外分配。矩阵计算是不可能的。
“多孔径”:一步多孔径分析
- 该模块允许在视场内对单个未连接的孔径进行联合测量和分析，例如用于测量安装在抛光头上的组件。
同时测量非连接孔径的可能性也使楔形分析．该分析可用于确定平面镜的楔角，以及在物体后面加一个镜子的平面传输板的光学楔角。
“多重统计”:对多个子孔径进行相同的统计分析
- 如果样品规格为同一样品的不同子部分定义了不同的限制，MultiStat模块允许在一次测量中对所有子区域进行相同的分析。每个部分的结果分别发布。
“MTF/PSF”:MTF分析
- 在光学领域，MTF被用来描述光学系统的质量。该模块允许计算焦距和焦距光学元件和系统的MTF
Prism:棱镜分析
- 通过分析90°或0°目标角上的误差偏差观测到的干涉图样，可以干涉测量90°和三棱镜上的角误差。
“粗糙度/ PSD”:粗糙度与PSD分析
- 该模块允许沿自由定义的直线计算功率谱密度(PSD)以及粗糙度参数。
“样本正常数据”:考虑已知的样本偏差
- 使用样本数据(样本正常数据- SND)可以识别额外的样本误差，并将它们包括在测试中，例如由于光学设计造成的偏差(基于设计的标称值)。
技术数据
| 参数 | µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 球面上 |
µ阶段® 圣/圣+ R |
µ阶段® 垂直3 |
µ阶段® 垂直+托盘 |
µ阶段® 通用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 利用 | 生产 | 生产 | 生产 | 研发、生产 | 研发、生产 | 生产 | 研发 |
| 样本类型 | 平 | 平 | 球形 | 平 球形 |
平 球形 复曲面的 非球面 |
球形 | 平 球形 复曲面的 非球面 圆柱 |
| 样本量(测量范围) | 不同版本 最多。Ø 150mm |
不同版本 最多。Ø 150mm |
样本量取决于测量目标 | Max。Ø50毫米 样本量取决于版本和测试镜头 |
Max。Ø 100mm 样本量取决于测量目标 |
Max。Ø 50mm | Max。Ø 150mm 样本量取决于版本和测试镜头 |
| Max。样品重量 | 5公斤 | 1.5公斤 (根据onconfiguration) |
1.5公斤 (取决于配置) |
1.5公斤 | 1.5公斤 | 1、5公斤 | 1.5公斤 |
| 校准工具 | 手动倾斜 | 手动倾斜 | 手动XY调节，倾斜台和z型对焦(几毫米) | 手动XY调节， 倾斜工作台和z型聚焦 |
手动倾斜工作台 手动XY表 电动，电脑控制的z轴 |
电动，电脑控制的X/Y/ z轴 | 手动倾斜工作台 手动XY表 手动z轴 |
| 测试范围半径测量 | 不可用 | 不可用 | 通常是10毫米…200毫米 相对半径测量相对于半径法线，范围取决于测试目标和支架 |
约220毫米 用量规测量绝对半径(模拟或数字) |
300到500毫米取决于测试光学 集成自动化的绝对半径测量 |
约。250毫米 集成自动化的绝对半径测量 |
最大可达2米，取决于测试目标和半径测量轨道的长度 综合绝对半径测量 特别是对于长半径 |
| 精度半径测量 | - | - | 取决于半径法线的精度 | 取决于轨距: 0,盘中µm |
5µm 2 μ m在10毫米 附加压力表可达0.1 μ m |
取决于轨距: 0, 1 - 5µm |
30µm |
| 维 (高x宽x深) |
基础: S: 300 x 300 mm²(自由工作距离180x180 mm) L: 440x440 mm(自由工作距离330x330 mm) 自由工作高度:110 / 155 / 200mm |
500 × 200 × 200 mm³ | 500 × 200 × 200 mm³ | 500 x 300 x 400 mm³ 移动范围160-300毫米(取决于配置) |
780 x 350 x 422毫米³ | 830 x 400 x 500 mm³ | 500 x 2500 x 400 mm³(宽度视扶手长度而定) |
| 重量 | S: 25公斤L: 45公斤 | 5- 20kg(视配置而定) | 5- 20kg(视配置而定) | 20公斤 | 60公斤 | 55公斤 | 30kg(视配置而定) |
| 类型 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 |
| 选项 | 传输测量 | 通过附加组件;多光圈，摇摆，工具偏移 传输测量 |
CGH支架用于测量非球面，圆柱或环面 通过附加组件;多光圈，摇摆，工具偏移 传输测量 |
技术数据®传感器
| 参数 | µ阶段®3．1 | µ阶段®3.2 | µ阶段®3．3 | µ阶段®3.3(饮料) |
|---|---|---|---|---|
| 相机的分辨率 | 608 x 608像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 |
| 反射的设置 | 固定的设置, 适用于4% ~ 80% |
固定的设置, 适用于4% ~ 80% |
0.5%， 1%， 4%， 80% | 0.0%， 1%， 4%， 80% |
| 测量波长 | 632.8纳米 其他如需 |
632.8纳米, 其他如需 |
632.8纳米, 其他如需 |
632.8纳米, 其他如需 |
| 重点选择 | 没有 | 没有 | 是的 | 是的 |
| 维 (高x宽x深) |
121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 |
| 重量 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 |
| 类型 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 可转换为菲索测量模式 |
| PV重复性 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 |
| RMS代表可食性 | λ/ 1200 | λ/ 6500 | λ/ 6500 | λ/ 6500 |
| 基于pc的测量不确定度评定 | λ/ 20 其他如需 |
λ/ 20 其他如需 |
λ/ 20 其他如需 |
λ/ 20 其他如需 |
升级及配件
- µPhase的替换®微相位传感器®1到µ相®3.3用于相机分辨率从608 x 608像素增加到1216 x 1216像素
- 标准波长632.8 nm，可根据要求在355 nm至1100nm之间
- 水平或垂直支架
基本µ相®单元和平面透镜采用卡口连接，允许在各种系统结构之间快速轻松地进行更改。 - 各种直径的平面和球形校准表面
- 裸
- 镜像
- 无需直接访问µPhase的办公室工作站离线分析和文档许可®硬件
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µLens SPHERO物镜联合µLens SPHERO 10 |
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µLens SPHERO物镜与µLens SPHERO 50结合使用 |
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与InterOptics的合作
我们的独家合作伙伴InterOptics， LLC提供了额外的可能性。在德国和选定的国家，我们销售µPhase®以及干涉仪OptoFlat -平面光学的专家。
OptoFlat
平面光学专家
短相干干涉仪OptoFlat专门用于测量平面光学。
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生产准备和研究能力的亚纳米精度平面干涉仪
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LED照明系统最大限度地减少相干伪影
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无触控传感器无需键盘输入即可开始测量
知识库
干涉仪
Twyman-Green设置
最灵活的干涉仪设置
Twyman-Green干涉仪是一种改进的迈克尔逊干涉仪。这里分束器与参考表面分离。这种配置的优点是更大的灵活性，因为两个干涉仪臂可以彼此独立地修改。因此，参考臂和测试臂的强度可以很容易地根据不同的样品反射率相互适应，以获得最大的条纹对比度。这极大地增加了应用范围。只有最大的条纹对比度才能获得最大的深度分辨率。参考表面可以是价格低廉且可准确生产的表面，而不受样本量的影响。对样本大小的适应是通过引入到测试臂的常规光束整形光学完成的。与斐索干涉仪的光束整形光学相反，这些光学不需要昂贵的斐索曲面作为最终曲面。
由于这种灵活性，干涉图样不仅由采样误差引起，而且还由单个干涉仪臂中附加光学元件的像差引起。然而，现在的样品不再通过目测条纹图来评估，而是通过计算机控制的导致条纹图的相图分析来评估。在分析过程中，附加光学元件的像差可以很容易地考虑在内。最后给出了客观的数字测量结果。
更多专家知识
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Twyman-Green建设
斐索干涉建设
用于波前和表面测量的菲索干涉仪
斐索干涉设置
最常用的干涉仪设置
光束整形光学的最后一个表面是所谓的斐索表面。它必须具有与待测样品相同的形状(通常是球形或平面)，并同心放置在光路中，因此各个射线垂直于斐索曲面相交。大部分光通过斐索表面并反射到测试表面。返回的光干扰了在斐索表面反射的那部分光。因此菲索曲面作为分束器和参考曲面。因此，空腔是由不含额外光学元件的斐索和测试表面之间的间隙形成的。这就是为什么菲索干涉图通常直接显示测试样本与参考曲面(即菲索曲面)的偏差。斐索表面的质量决定了斐索干涉仪的精度。斐索表面通常具有λ/10 - λ/ 20pv的质量，根据要求更好。