半导体工业照明光学
光学技术的先驱
在半导体技术的高科技领域，我们的主要重点是用于芯片生产的照明光学。这些大型和特别精确的透镜组件和镜面光学在UV和EUV范围内工作。由于它们不同寻常的特性，它们为许多其他市场铺平了道路。
“主流媒体对极紫外(EUV)光刻系统的报道并不多，但它背后的技术最终在世界各地的芯片制造工厂批量生产，应该被视为现代工业时代的奇迹之一。”
光子学报，2019年10月18日- optics.org
为芯片生产设计照明光学装置
芯片生产对照明光学的质量要求是巨大的。为了生产市场上价格从1亿美元起的EUV系统，需要以下设计设置:
在这些高精度透镜组件的设置过程中，各个透镜元件在集中度测试的帮助下与它们的单元和彼此对齐。通过MTF或波前测试来验证图像质量。
光学器件的尺寸使得在不同的测量系统之间进行更改特别困难。因此，测量系统的集成在一个有效的工作过程中是极其重要的。
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