µPhase®
干涉仪的测量表面和波阵面变形
μPhase®干涉仪允许快速、高精度测量的表面和波前变形反射和传输组件由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似的材料。客观和可靠的结果满足最高的质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。
高度精确的
Mulitpurpose
可靠的
产品概述
μPhase®干涉仪是非常紧凑,小巧轻便数码设备,可用于几乎任何工作环境。在μShape软件的支持下,可以执行广泛的测量分析。
的μPhase®传感器是在TRIOPTICS干涉法测量的基础。传感器是模块化和可配置了各种测量直径和代表特定的测量任务。此外,可以以低成本提供定制的解决方案。
µPhase®3.1 / 3.2/3.3。
高度灵活的
Twyman绿色µPhase干涉仪传感器®可以在相同的设计为不同的分辨率,可以集成到您的设置。
µPhase®垂直3
多才多艺的
高度灵活的制造和设备齐全的干涉仪系统,车间和实验室
µPhase®垂直专业
自动化
托盘,µPhase®垂直PRO可以自动测量20到30个样本。
µPhase®普莱诺了
结构紧凑
µPhase®普莱诺和紧凑的设计适用于测量平面组件的研发和生产
µPhase®普莱诺了
计划生产眼镜
对于一个有成本效益的质量控制在生产µPhase光学平面®普莱诺是最完美的选择。
µPhase®球面上
在生产领域
球形表面可以控制与µPhase快速高效地生产®球面。
应用程序
µPhase®干涉仪启用以下测量和应用:
- 测量平面、球面、柱面、复曲面的和非球面表面反射
- 绝对测量球面半径、复曲面的和非球面镜片
- 测试的适应性的镜子
- 测量波前变形透明的样品
- 测量的隐形眼镜和成型工具
- 离线或在线快速测量工具的抵消后的超精密金刚石车床工具的变化
- 测试的众多高精度、为了组件
- 汽车应用程序
- 医学应用
软件
µShape
干涉仪的软件
可配置µShape自由软件的当前版本8日µPhase®是理想的装备用于生产以及研究和开发。软件控制测量,提供全面的选项进行分析并提供完整的文档。提供最大的透明度测量过程和测量模板允许快速的文档测试结果。
结构清晰,基于目录的用户界面µShape总是符合µPhase的综合利用®并且可以扩大在许多不同的方式通过可用的模块。这些模块可以添加在任何时候,即使采购µPhase®系统。
软件开发主要是为µPhaseµShape®操作,但也可以用于操作实验室和车间干涉仪从其他制造商。定制功能的发展是可能的。
- 不同的访问级别允许特定用户访问选项,从管理员到生产用户
- 全面、上下文相关的直接帮助
- 易于使用和减少训练所需的用户由于轻松地为任何类型的可配置模板测量和分析的任务
- 舒适的再分析没有re-measuring选择保存的测量
- 简单存储图形的各种图形格式(bmp、jpg等)。
- 单参数或选定的数据字段的快速数据导出为文本文件,二进制文件或其他常用文件格式(例如QED、Zygo XYZ, DigitalSurf INT)外部处理
- MetroPro兼容的文件格式扩展样本参数的任务描述
- 一个额外的二维多项式
- 测量报告提供了一个全面的结果,可以以多种方式配置,包括客户标识
- 显然结构化程序的演示模式由独立的校准和测量过程的可视化
- 全面的测量参数测量值,在图形2 d或3 d或自由选择截面图形(1 d)包括集成住相机图像
- 快速测量重复性的部分通过存储和设置所有参数包括窗口大小和位置,与示例文件µShape™程序文件
- 灵活的和自定义屏幕显示,适应任何监视器的大小
- 现场图片:2屏幕上显示为一个额外的窗口
- 总是最新科技通过不断发展和定期更新——请求或软件平率
- 完全兼容Windows 10(64位和32位系统)
“Aspheres”:球面或非球面分析全息设置
- asphere模块允许强大的分析aspheres在非球面设置计算机生成全息图的帮助(CGH)以及球面aspheres疲软设置分析。的描述asphere可以输入并保存。支持各种格式(旋转对称)。剩余调整错误以及系统设置错误是由一个非球面补偿调整。
“气缸”:汽缸分析
- 气缸模块分析圆柱样品在一个圆柱形的设置(CGH)。剩下的由圆柱形补偿调整适应调整错误。
“外面的接口”:外部通信接口
- 外部接口模块之间允许通信µShape™和外部软件LabVIEW™等控制干涉仪通过外部程序,例如在一个自动化系统
“FastFringe”:静态边缘分析
- 这个模块允许一个干涉图的分析在不稳定的环境中或者没有移相干涉仪测量设备。
“光纤连接器”:光纤连接器的分析
- 光纤连接器模块允许分析光纤连接类型的最终面临PC(身体接触)按照国际IEC大会。一个测量的主要参数聚集;这包括一个可选的显示通过/失败的分析。
“同质性”:测量透明样品的均匀性
- 这两个方面影响光路通过示例,即同质性(折射率的变化)一方面,另一方面,和厚度变化可以确定在一个单独的程序模式。
“数学模式”:数学模式
- 本程序模式允许各种数据的分析作业结合数学计算额外的分配结果。矩阵的计算是不可能的。
“多个光阑”:多孔径分析在一个步骤
- 这个模块允许个人独立的联合测量和分析在视场光阑,例如组件安装在抛光头的测量。
同时测量的可能性non-connected光阑也可以楔形分析。这种分析可以用来确定平面反射镜的楔角以及平面传输的光楔板和一个额外的镜子后面的对象在一个步骤。
“多个统计”:在多个subapertures相同的统计分析
- 如果样品规范定义了不同的限制不同的程式相同的示例中,所有分区的MultiStat模块允许相同的分析在单一测量。结果每个部分分别发布。
“MTF / PSF”: MTF分析
- 领域的光学MTF用于描述光学系统的质量。模块允许计算MTF的焦点和无焦光学组件和系统
“棱镜”:棱镜分析
- 角错误90°和三重棱镜可以测量interferometrically通过分析干扰模式通过错误偏差90°或观察0°目标角度。
“粗糙度/ PSD”:分析粗糙度和PSD
- 这个模块允许计算功率谱密度(PSD)以及粗糙度参数沿自由可确定的直线。
“正常样本数据”:考虑已知的样本偏差
- 正常使用示例数据(样本数据(SND)允许额外的样品错误的识别,包括他们在测试中,如偏差由于光学设计(设计名义值)。
技术数据
| 参数 | µPhase® 普莱诺了 |
µPhase® 普莱诺了 |
µPhase® 球面上 |
µPhase® 圣/圣+ R |
µPhase® 垂直3 |
µPhase® 垂直+托盘 |
µPhase® 通用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 利用 | 生产 | 生产 | 生产 | 研发、生产 | 研发、生产 | 生产 | 研发 |
| 样本类型 | 平 | 平 | 球形 | 平 球形 |
平 球形 复曲面的 非球面 |
球形 | 平 球形 复曲面的 非球面 圆柱 |
| 样本大小(测量范围) | 不同版本 马克斯。Ø150毫米 |
不同版本 马克斯。Ø150毫米 |
样本大小取决于测量目标 | Max。Ø50毫米 样本大小取决于版本和测试镜头 |
Max。Ø100毫米 样本大小取决于测量目标 |
Max。Ø50毫米 | Max。Ø150毫米 样本大小取决于版本和测试镜头 |
| Max。样品重量 | 5公斤 | 1.5公斤 (根据onconfiguration) |
1.5公斤 (根据配置) |
1.5公斤 | 1.5公斤 | 1、5公斤 | 1.5公斤 |
| 校准工具 | 手动倾斜 | 手动倾斜 | 手动调整XY,倾斜和z-focusing(几毫米) | 手动XY调整, 倾斜和Z-focusing |
手动倾斜 手动XY表 机动,计算机控制的z轴 |
机动,计算机控制的X / Y / z轴 | 手动倾斜 手动XY表 手动z轴 |
| 测试范围半径测量 | 不可用 | 不可用 | 通常10毫米…200毫米 相对半径测量半径相比正常范围取决于测试目标和持有者 |
约220毫米 绝对半径测量计(模拟或数字) |
根据测试光学300 - 500毫米 集成、自动化绝对半径测量 |
约。250毫米 集成、自动化绝对半径测量 |
达到2米,根据测试目标和半径的长度测量铁路 集成的绝对测量半径 特别是对于长半径 |
| 半径的测量精度 | - - - - - - | - - - - - - | 取决于半径正常的准确性 | 取决于测量: 0,盘中µm |
5µm整体 2µm在10毫米 与额外的0.1µm计 |
取决于测量: 0,1 - 5µm |
30µm |
| 维 (h x w x d) |
基础: 年代:300 x 300 mm²(免费工作距离180 x180毫米) L: 440 x440 mm(免费工作距离330 x330毫米) 自由工作高度:110 / 155/200毫米 |
³500 x 200 x 200毫米 | ³500 x 200 x 200毫米 | ³500 x 300 x 400毫米 移动的范围在160 - 300毫米(取决于配置) |
³780 x 350 x 422毫米 | ³830 x 400 x 500毫米 | 500 x 2500 x 400毫米³(宽度取决于铁路的长度) |
| 重量 | S: 25公斤L: 45公斤 | 5 - 20公斤(取决于配置) | 5 - 20公斤(取决于配置) | 20公斤 | 60公斤 | 55公斤 | 30公斤(取决于配置) |
| 类型 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 |
| 选项 | 传输测量 | 通过插件。多个光阑,动摇,工具偏移量 传输测量 |
全息测量aspheres托架,汽缸或复曲面的表面 通过插件。多个光阑,动摇,工具偏移量 传输测量 |
技术数据µPhase®传感器
| 参数 | µPhase®3.1 | µPhase®3.2 | µPhase®3.3 | µPhase®3.3(饮料) |
|---|---|---|---|---|
| 相机的分辨率 | 608 x 608像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 |
| 反射的设置 | 固定的设置, 适用于4%…80% |
固定的设置, 适用于4%…80% |
0.5%,1%,4%,80% | 0.0%,1%,4%,80% |
| 测量波长 | 632.8纳米 其他请求 |
632.8纳米, 其他请求 |
632.8纳米, 其他请求 |
632.8纳米, 其他请求 |
| 重点选择 | 没有 | 没有 | 是的 | 是的 |
| 维 (h x w x d) |
121 mm x 97 mm x 57毫米 | 121 mm x 97 mm x 57毫米 | 121 mm x 97 mm x 57毫米 | 121 mm x 97 mm x 57毫米 |
| 重量 | 1,1公斤 | 1,1公斤 | 1,1公斤 | 1,1公斤 |
| 类型 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 convertable斐索干涉测量模式 |
| PV重复性 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 |
| RMS代表eatability | λ/ 1200 | λ/ 6500 | λ/ 6500 | λ/ 6500 |
| 测量的不确定性,基于pc的评估 | λ/ 20 其他请求 |
λ/ 20 其他请求 |
λ/ 20 其他请求 |
λ/ 20 其他请求 |
升级&配件
- 更换µPhase®传感器从µPhase®1µPhase®3.3为608 x 608像素的相机分辨率提高到1216 x 1216像素
- 水平或垂直站
基本µPhase®单位和平坦的镜头卡口式连接,允许快速和容易的变化之间的不同的系统结构。 - 平面和球面校准表面各种直径
- 裸
- 镜像
- 许可证离线分析和文档没有直接访问µPhase办公室工作站®硬件
µPhase®用不同波长3 XL
证明和高度集成移相干涉仪µPhase®3 XL修改为使用各种波长:
- 支持蓝、绿、深红色光源
- 目前405年、532年和1064海里,其他波长的请求
- 标准版@ 633海里
- 所有波长反射率适应和物平面聚焦能力
- 相同的机械尺寸和接口的所有波长的传感器
|
 |
µLens球面客观结合µLens球面10 |
|
µLens球面目标结合µLens球面50 |
|
与InterOptics合作
我们的独家合作伙伴InterOptics公司提供了更多的可能性。在德国和我们市场µPhase选择国家®以及干涉仪OptoFlat -普莱诺光学专家。
OptoFlat
专家平光学
短相干干涉仪OptoFlat专业测量平面光学。
知识库
干涉仪
Twyman-Green设置
最灵活的干涉仪的设置
迈克耳孙干涉仪Twyman-Green干涉仪是一种修改。这里的分束器是分开的参考面。这个配置的优点是更大的灵活性,因为两个干涉仪武器可以相互独立地修改。所以参考和测试臂的强度可以很容易地适应彼此根据不同样品反射率为了得到最大边缘的对比。这就增加了巨大的应用范围。只有最大边缘对比度使深度的最大分辨率。廉价的参考表面可以是一个表面和样本大小的准确可不管。样本的适应能力是通过传统的光束整形光学介绍给测试部门。相反的光束整形光学菲佐干涉仪这些光学不需要一个昂贵的斐索干涉表面最后表面。
由于这种灵活性,造成的干扰模式不是样本错误但也额外的光学畸变的个人干涉仪的胳膊。然而,如今不再是评估样品边缘模式的目视检查,而是计算机控制的相图分析导致干涉图样。在这额外的光学畸变的分析可以很容易地考虑。最后,软件提供了一个客观的数字测量结果。
更多的知识专家
这篇文章启发吗?你在找进一步知识转移?
那么你可能也会感兴趣以下话题…
Twyman-Green建设
斐索干涉建设
菲索干涉仪波前测量和表面
斐索干涉设置
最常用的干涉仪的设置
最后一个光束整形光学表面是所谓的斐索干涉表面。它必须有相同的形状样品进行测试(通常球形或平面)和放置同中心地进入光路,因此个人射线相交垂直于斐索干涉表面。斐索干涉表面的大部分光线和反射测试表面。返回的光干扰的部分反映在斐索干涉表面。所以斐索干涉表面充当分光镜以及参考面。腔是由斐索干涉之间的差距和测试包含任何额外的光学表面。这就是为什么一般斐索干涉干涉图直接显示测试的偏差样本参考表面,即斐索干涉表面。斐索干涉表面的质量决定了菲索干涉仪的准确性。斐索干涉表面通常可用10 -λλ/质量/ 20 PV,更好的要求。
