der Technologische wegbereiter der optik

Im Hochtechnologie段der halbleitertechnik liegt unser unser augenmerk auf den beleuchtungsoptiken zur zur chipherstellung。diesegroßen和besonderspräzisenobjektive undspiegeloptiken arbeiten im uv- bzw.Euv-Bereich。Mit ihrenaußergewöhnlicheneigenschaften bereiten sie den wegfürvürVieleandereMärkte。

„Die Wahrnehmung für den Massenmarkt ist sehr gering, aber die Technologie hinter den extrem ultravioletten (EUV) Lithografiesystemen, die sich endlich zur Serienproduktion in Chipherstellungsanlagen auf der ganzen Welt entwickeln, sollte als eines der Wunderwerke des modernen Industriezeitalters angesehen werden.“

Photonics News，18。慕尼黑冰宝2019 - Optics.org

aufbau von beleuchtungsoptiken zur chipherstellung

DieQualitätsanforderungena Beleuchtungsoptiken Zur chipherstellung sind ronors。Um Euv-Systeme，Die ab Einem Verkaufswert von von 1亿US $ VERTRIEBEN WERDEN，HERZUSTELLEN BEDARFESWährenddes Aufbaus：

genauigkeiten im nanomer-bereich oder sogar im subnanometome bereich，wenn es um einzelnenoberflächengeht
ExtremeStabilität和Steifigkeit Zur Erzielung Einer Hohen Wiederholgenauigkeit
Einhaltung Eines 6-SigmaQualitätsprozessesbezüglichder Bedienung und den spezifikatikationen

Beim Aufbau Dieser Hochgenauen objektive Werden Die Einzelnen Linsenelemente Sowohl Zu Ihrer Fassung Als Auch Zueinander Zueinander Mithilfe derZentrierprüfungungungungungungungausgerichtet。Eine verifizierung derabbildungsqualitäterfolgtübereine mtf- oderwellenfrontprüfung。

DieGrößederoptiken Macht Den Wechsel Zwischen verschiedenen Messsystemen besonders Schwierig。einen effizienten arbeitsprozessaußerordentlichwichtig中的daher ist intectionse。