Wavesensor＆Wavemaster®
Shack-Hartmann Wellenfrontsensoren
UM DIE UMSETZUNG AUFWENDIGER OPTISCHER设计Nach der Herstellung Sicher StellenZuKönnen，Muss Eine eine precifizierte Messtechnik Genutzt Werden。Hierzu Eignet Sich Insbesondere DieWellenfrontprüfung，DieAbbildungsqualitätortsaufgelöst，dasHeißtüberalle feldwinkel，und undundüberdie die gesamte die gesamteprüflingflingflingsaperturbestimmt。Damit Ergibt Sich，Anders Als bei der KlassischenMtfprüfung，Nicht Nur Ein ein punktuellesmaßfüriedieQualität，Sondern ein ein kontinuierlicher abgleicher abgleicherabgleichüberichüberibleIchüberdiedie gesamte apertur。
Hoheflexibilität
mit einer maximalen dynamik von bis zu 2000λerlauben wavesensor und wavemaster®Eine Hoheflexibilitätbezüglichdes Zu Messenden Linsendesigns。
WiederholbarHohePräzision
Neben Einer Messgenauigkeit von bisZuλ/20（RMS）Kann Durch Durch Dies Kompakte，Robuste und Evibrationsunempfindliche bauweise auch eine eine eine hohe wiederholbarkeit von vonλ/200（RMS）Erreicht Werden。
Sofortige Auswertung
在Echtzeit Werden Die Ergebnisse der Gemessenen Wellenfrontdaten Mit Denen denen der Mustterlinsen oder den design designwerten abgeglichen and beurteilt。
ProdukTübersicht
In Echtzeit analysieren Shack-Hartmann Sensoren gesamte Optiken oder einzelne Oberflächen und erlauben die Bestimmung der Wellenfront (PV, RMS), der Zernike-Koeffizienten, der Punktbildfunktion (PSF), der Modulationsübertragungsfunktion (MTF), des Strehl-Verhältnisses, des Krümmungsradius und desAsphärenkoeffizienten。DamitErmöglichensie nichtNurrückschlüsseZurQualitätskontrolleEinzelner Linse，SondernAuchüberDenProduktionsprozess。
Wavesensor Stellt Die Grundlage der wellenfrontmessung und -AnalysevonSphärischen，Asphärischen，frei geformten und einzeloptiken und linSensySySyen bei bei bei bei bei trioptics dar。Hierbei Handelt Es Sich um Einen Shack-Hartmann-Sensor，Der Sowohl Einzeln als auch auch auch auch Integriert in Kolpletten Messsystemen Zum Einsatz Kommt。
durch ihre einfache handhabung undflexibilitätsind die messysteme der wavemaster®紧凑型意甲Sowie der wavemaster®Plan Mit Ihren Vielen FreiheitsgradenOptimiertfürDenEinsatz在Forschung undEntwicklung Sowie Die die stichprobenartigeQualitätskontrollollevon einzellinsen。Analysen Erfolgendabeiüberibeoberflächeund/oder die gesamte optik。
麻省理工学院Dem Wavemaster®Pro 2 Bittet Trioptics EIN Messsystem，DasFürDenEinsatz in der Produktion Optimiert Ist Ist und die Messuns inChargenermöglicht。füranwendung，bei denen die reine axialewellenfrontprüfungnicht mehr ausreicht，da hohe feldwinkel unbeachtet bleiben，bieten der wavemaster®田野®UstLösungen。
Wavemaster®Pro 2 / Pro 2晶圆 / Pro 2计划
Serienprüfungvon optiken和Wafern
Wavemaster®Pro 2 Erlaubt DieSerienprüfungvon optiken und optischen晶圆。
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Vollautomatisierte Messung EinerGroßenAnzahlvonPrüfüflingen（Wafer Oder beladene托盘）
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Messzeit von Unter 3 Sekunden Pro Optik和MessschrittSorgtFürEinenHohen probendurchsatz
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Hohe Wiederholgenauigkeit
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benutzerdefinierte ausschuss-kriterienfüreine anwendungsorientierteeerteQualitätskontrolleleim vergleich Zu Zu Design-Daten OderMusterprüflingen
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Hohe Pronsparenz der Messergebnisse durch den fort der der Messdaten jeder einzelnen linseelmöglichteine eine optimale optimale produktionssteuerung in hinblick auf auf auf auf materialldefekte und produktionsforeuktionsfehler
Wavemaster®场地
außeraxialewellenfrontprüfung
Der Wavemaster®现场iSt auf dieprüfungvon einzellinsen unter unter unter hohen feldwinkeln ausgelegt。
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UniverselleWellenfrontprüfungUnter Feldwinkeln Von Bis Zu 60°
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柔性和Einfache Einstellung ensionsueller EinfallSwinkel和Wellenlängen
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可变的prüflingsaufnahmeerlaubt die anpassung a interschiedlicheprüflinge - 理想的fürf＆e
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prüflingsCharakterisierung手套Folgender Linsenparameter：EFL，MTF，Verzeichnung，Zernike-Analyse
Wavemaster®计划
Messung PlanerPrüflinge
ZurQualitätsprüfungPlanerFlächenMittels wellenfrontanalyse Eignet Sich der Wavemaster®计划。
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Umfassende Wellenfrontanalyse von Planen optischen Elementen
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Einfache和Schnelle Messung：PrüflingWird Manuell grob platziert和mit einer xy-verstellung feinjustiert
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稳定和umgebungsunabhängigesmesssystem durch振动unempfindlichen aufbau
Wavemaster®紧凑2
Messung在传输FürF＆E中
Wavemaster®紧凑型2 MISST DIE WELLENFRONT VON EINZELLINSEN和OPTISCHEN SYSTEREN中的DerQualitätssicherung。
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Wellenfrontmessung von Einzellinsen在Forschung und intwicklung Sowie Zur ZurQualitätskontrolle
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Messung und Analyse der Kolltetten Optik在传输中
Wavemaster®紧凑2反射
Messung inflexionfürf＆e
Wavemaster®紧凑型2反射Ermöglicht模具Messung deroberflächentopraphieund denkrümmungsradiusvon einzellinsen。
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Wellenfrontmessung von Einzellinsen在Forschung und intwicklung Sowie Zur ZurQualitätskontrolle
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Messung und Analys反射中的deroberflächentopographie
Wavemaster®紧凑型2通用
变速箱和反射中的惊人
kombinierte wellenfront- undoberflächentopraphiemessungsind mit dem dem wavemaster®紧凑型2宇宙Möglich。
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Wellenfrontmessung von Einzellinsen在Forschung und intwicklung Sowie Zur ZurQualitätskontrolle
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Messung und Analyse der Kolltetten Optik在变速箱中及其反射中的Oberflächentopographie
Wavemaster®Ust
Universelleprüfungvon stepperoptiken
beidseitig telezentrische objektive lassen sich mit dem dem vollautomatisierten wavemaster®Ust Messen。
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Vollständiges，auchaußeraxiales映射großerbeidseitiger telezentrischer optiken（bis 300 kg gewicht）durch during die wellenfrontmessung
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UniversellerEinsatzfürFürFuldgrößenBis70 x 45mm²（objektseitig）bzw.100 x 100mm²（bildseitig）
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Einfache和Schnelle Messungen Durch Hohen Automatierungsgrad
Wavemaster®IOL 2
WellenFrontmapping von kakularlinsen
Die Wellenfront-Messung Mit Dem Wavemaster®IOL 2ermöglichtdas功率映射von von akulaularlinsen。
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Universelles Messsystem ZurQualitätskontrolleleallergängigenrecraktiven宫内林林：Monofokal，Torisch，sphärisch和sphärischundasphärisch
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Messung Hydrophober Oud Hydrophiler Linsen在Luft Oder Im IM可选的Beheizbaren In-Situ-AugenmodellModellModellMemäßISO11979
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vollautomatisierte和benutzerunabhängigebestimmung der linsenaberrationen，MTF，EFL和PSF
Basierend auf der wellenfrontanalyse mittels wavesensor，trioptics etabliertem shack-hartmann传感器，misst der wavemaster®IOL 2 ALLENPARAMETER VON MONOFOKALEN UND TORISCHEN，SPHärischenOderasphärischenkakularinsen。Hierdurch在der Produktion的Forschung和Entwicklung Sowie中找到了Er seinen einsatz。Messparameter Wie Die Brechkraft，Aberrationen und DieModualsionübertragungsfunktionWerden Durch Durch Die Analyse der Wellenfront Berechnet，Einem Schnellen Messprozess Ermittelt Wird。Zusätzlichwird Die vollautomatisierte Messung von Torischen Linsen（MTF在Beiden Hauptschnitten，Markererkennung）Unterstützt。Alle aspekte der in luft-oder in-Situ-Messung werdenüberdie neue innue intuitiv nutzbare软件Dargestellt，Die den den nutzer durch durch den prozessführt。
- Die Wellenfront-MessungErmöglichtdasvollständige映射
- HöchsteSicherheit bei der linsenevaluierung，da mesung 3x so so genau ist，wie de in der iso geforderten toleranzen
- forschung und entwicklung durch Zernike-Analyse中的个人Auswertung von Linsenaberrationen
- Optimaleprüfungderabbildungsqualitätvonvon torischen linsen durch Durch die automatisierte mtf-messung in beiden linsenhauptschnitten
- vollautomatische bestimmung der achsabweichung bei torischen linsen Zwischen Markern和Hauptschnitt
- kameralivebild erlaubt die visuelle beurteilung der linsenbezüglichHerstellungsgüte
- prüflingsSpezifischanpassbare maskendurchmesser ientsprechend derbenötigtenauflösung和Dynamik
安温登根
KonventionelleGrenzenüberschreiten
UmfassendeQualitätskontrolleMitShack-Hartmann Messtechnik
Der Bedarf An Kompakten Linsensystemen，Die Sich Durch EineKleineGröße和Ein geringes gewinges gewicht auszeichnen，führt，VielenFällenzum zum austausch Mehrerersphärischersphärischerlinsen dinch eine durch eine durch eine durch eineasphärischeoptik。ZusätzlichNehmenQualitätskontrollenbereitswährendder der fortigung a bedeutung Zu。在VielenFällenKönnenFürDiese Messaufgaben KeineHerkömmlichenverfahren eingesetzt Werden。Die Wellenfrontmessung Mit Shack-Hartmann Sensoren Stellt Hier Auf Grund IhresgenGroßenDynamikbereiches Dielösungderlösungder wahl dar。
软件
Wavesensor Oder Wavemaster®软件
Die SoftwareIstübersichtlichStrukturiert，BedienerfreundlichundEnthältAlle funktionen，Um Mit Einem wavesensor®Oder Wavemaster®SphärischeundasphärischePrüflingeZu Messen und Zu Analysieren。Mit Ihrer Flexiblen Konfigurierbarkeit，Werden Alle Wichtigen Messergebnisse Angezeigt。
Die软件Kommuniziert Mit Dem Shack-Hartmann-Sensor und Analysiert Die Gemessene Wellenfront in echtzeit。ZusätzlichSteuert Sie Die Wavemaster®Messsysteme，UM Z。B.PrüflingeAuszurichten。
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übersichtliche，Menügesteuerte和konfigurierbarebedienerführung
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Einfache和直观的Messund和分析von Wellenfronten der gesamten optik oder anoberflächen在echtzeit
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Eine SoftwareFürAlles：Datenerfassung，Datenberechnung，Kalibierung und anzeige der daten
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Absoluter和RelativerMessmodusFürDenInstantanen Vergleich Mit Den theoretischen designdaten aus zemax和code v oder mit einer einer einer reterenzlinse
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kolplette dokumentation durch ausgabe von messzertifikaten
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Einstellbaren Mess- und Analysebereich von中的übersichtlichedarstellung
- 2D-Wellenfront
- PV和RMS
- Intensität
- kamerabild
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VollständigeDarstellungderOberfläChentopraphieDurch Mehrere Mehrere paranetrisierungen：
- Asphärengleichung
- Zernike-Polynome
- Konische Gleichung
- SphärischeGleichung
- Freiformfläche
Technische Daten
Shack-Hartmann传感器
| Wavesensor | 150 | 150 MIT反射模型 |
|---|---|---|
| Sensorbereich | 15毫米x 15毫米 | 15毫米x 15毫米 |
| Wellenlänge | 405 nm ... 1100 nm1） | 405 nm ... 1100 nm1） |
| Wellenfront Genauigkeit | <λ/20（RMS） | 0,05μm（RMS） |
| weellenfront Wiederholgenauigkeit | <λ/200（RMS） | 0,005μm（RMS） |
| Dynamikbereich | 2.000λ | 2.000λ |
| Messfrequenz | bis zu 12 Hz | bis zu 12 Hz |
| Resteraleauflösung | 138 x 138 Mikrolinsen | 138 x 138 Mikrolinsen |
Forschung＆Entwicklung
| Wavemaster® | 紧凑2 | 紧凑2反射 | 紧凑型2通用 |
|---|---|---|---|
| PrüflingsDurchmesser | 0.5毫米... 14毫米2），3） | 4,5毫米... 18毫米3），5） | 变速箱：0.5毫米... 14毫米2），3） 反射：4,5毫米... 14毫米3），5） |
| Brennweite（MesskonFiguration） | -30毫米... +100毫米4） | -30毫米... +100毫米4） | |
| Krümmungsradius | -50毫米... 30毫米6） | -50毫米... 30毫米6） | |
| Prüflingshalter | Einzelprüfplatz，Manuelle positionierung | Einzelprüfplatz，Manuelle positionierung | Einzelprüfplatz，Manuelle positionierung |
| 最大asphärizität | ≤7°7） | ≤7°7） |
| Wavemaster® | 计划 | 场地 | Ust |
|---|---|---|---|
| PrüflingsDurchmesser | 0.5毫米... 14毫米2），3） | 0.5毫米... 14毫米2），3） | BIS ZU 1.100毫米x 650毫米x 1.200毫米 |
| Prüflingshalter | Einzelprüfplatz，Manuelle positionierung | Einzelprüfplatz，Manuelle positionierung | SchnittstelleFür Kundenspezifische Linsenhalter |
| 最大PrüflingsGeWicht | 450公斤 | ||
| 最高者守法Zwischen objekt-和bildebene |
1200毫米 | ||
| MaximaleFeldgröße，bildseitig | ±20毫米 | 100毫米x 100毫米 | |
| MaximaleFeldgröße，Objektseitig | ±70° | 70毫米x 45毫米 |
produktion
| Wavemaster® | Pro 2 | Pro 2晶圆 | Pro 2计划 |
|---|---|---|---|
| PrüflingsDurchmesser | 0.5毫米... 14毫米2） | 0.5毫米... 14毫米2） | 0.5毫米... 14毫米2） |
| Anlagemaß | -12毫米... +50毫米4） | -12毫米... +50毫米4） | |
| Prüflingshalter | 托盘 | 瓦斯特 | 托盘 |
| Messzeit Pro Optik | <3 s8） | <3 s8） | <3 s8） |
| PrüflingsDurchsatzPro Stunde | ≥1.200林森8） | ≥1.200林森8） | ≥1.200林森8） |
| Linsen Pro Tray | 最大限度。1488） | 最大限度。1488） | |
| Austauschzeitfür托盘林森 | 10 s | 10 s | 10 s |
| 晶圆托盘austauschzeit， inkl。Einrichtung |
<2分钟 | <2分钟 | <2分钟 |
| EinrichtzeitfürNeueslinsendesign | <5分钟 | <5分钟 | <5分钟 |
1）Nach Kundenwunsch
2）Abhängigvom teleskop
3）weitere auf andrage
4）abhängigvom mikroskop
5）abhängigvomkrümmungsradiusund beleuchtungsoptik
6）abhängigvomprüflingsDurnsdurchmesserund der beleuchtungsoptik
7）Lokale Abweichungen von der Best-Passendensphäre
8）abhängigvomprüfling
升级和Zubehör
Alle Wavemaster®-Systeme Zeichnen Sich Durch Einen flexiblen aufbau aus，所以dass sie a die speziellen anforderungen ihrer anwendung anwendung angepasst angepasstwerdenKönnen。
Dievollständige分析wird durch eine eine sionselle anpassung a denprüflingMöglich。Kinematische Halterungen Erlauben So u。A. Den Einfachen Austausch von Lichtquellen和Teleskopen：
•Lichtquellen UnterschiedlicherWellenlänge和Numerischer apertur
•Teleskope Zur Erreichung der OptimalenVergrößerungZwischenPrüfling和传感器
•OptikenFürOberflächenMit Verschiedenenkrümmungsradien
•prüflingshalter和托盘
•Referenzprüflinge
DieSoftwareFunktionalItätwirdDurch Spezifische模块bezüglichDerMessaufgabe Optimiert：
Zernike-Analyse-modul
- Zernike-Fit und Analys eChtzeit中的Wellenfront
- numerische und grafische anzeige der fit-ergenisse und sustuen
- 导入von wellenfront-designdaten aus zemax和codevürechtzeit-vergleiche
- 出口von wellenfront-daten und des des分析 - ergnissen in ascii- und zemax-format
MTF/PSF-Analyse-modul
- echtzeit-berechnung und-anzeige der 3d-mtf- und psf-daten
- Tabelle MIT MTF-Messergebnissen
- ExportFunktionfürMessergebnisse
- Berechnung desStrehlverhältnis
•Erweiterung des Messbereichs
•升级fürtorische Linsen（Automatische Markerkennung，Vereinfachte Mtf-Messung，Visuelle Begutachtung）
•升级Für546 nm
•Linsenhalter Mit VerschiedenenAperturgrößen
•Modellauge，可选的Beheizbar
知识库
Wellenfrontmessung Mit Shack-Hartmann Sensoren
funktionsprinzip eines shack-hartmann传感器和弯曲式钢筋
Eine Wellenfront，Die Auf Die Linsen Eines Arrays Trifft，Viele Kleine Bereiche Zerlegt中的Wird，在Denen das einfallende Lichte Lichte jeweirs中，在CCD-Ebene fokussiert中。dort entsteht ein von der der der wellenfrontabhängigespunktmuster。Im Fall Einer Perfekt Ebenen Wellenfront handelt Es Sich um eingleichmäßigesräumlichesummliches。Eine durch einenprüflingeingeführte畸变führtzu einerkrümmungund somit lokalen lokalen neigung in der wellenfront。Diese Ist Mit Einer Messbaren Verschiebung der Einzelnen brennpunkte verbunden。
Hieraus Lassen Sich Die Lokalen Neigungen der Wellenfront Bestimmen。eine numerische集成erlaubt die rekonstruktion der wellenfront mit hoher genauigkeit。
Hoher Dynamischer Bereich
dy dynamikbereich eines shack-hartmann传感器hängtzu einemgroßenteil von von den algorithmen ab，麻省理工学院Denen Jeder Einzelne Einzelne Messpunkt der entsprechenden Mikrolinse Mikrolinse Zugeordnet Wird。Nur Wenn Diese Korrelation Eingehalten Wird，Kann Eine Wellenfront Korrekt Rekonstruiert Werden。insbesondere bei starkgekrümmtenwellenfronten reicht einfache zuordnung eines vordefinierten suchbereichs s s s sifebereichs in der ccd-ebene mit derdergrößeeinermikrolinse nicht mehr aus nicht mehr aus。MIT Modernen Verfahren Lassen Sich wellenfront-dynamikbereiche von Mehr ALS 2000λErreichen。
Aufgrund在Der Lage的Der Lage中死亡的Hohen Dynamikbereiches Sind Shack-Hartmann Sensoren，Wellenfronten MitGroßenAberrationen Zu Messen。干涉仪Hingegen Haben Einen Geringeren Dynamischen Bereich。
MehrWissenFür专家
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Ein Shack-Hartmann传感器Bestehtüblicherweiseaus einer ccd-kamera，在der brennebene eines eines mikrolinsen arrays arngeordnet ist中死亡。
Zernkike-polynome bis Zur 6. Ordnung
Echtzeitanalyse von Wellenfronten Zernike-Polynome
Die Gemessene Wellenfront Wird sittels Zernike-Polynomen Analysiert，welche typische optische eigenschaften und fehler einer linse bzw.Eines Linsensystems Beschreiben。HierzuGehörenZ。B.sphärischeaberrationen，astigmatismus und koma。
Die Zernikeanalyse ermöglicht eine numerische Darstellung aller Abbildungsfehler des Prüflings, die im Wesentlichen auf zwei Ursachen zurückzuführen sind: Aberrationen, welche auf das Linsendesign zurückgeführt werden können und/oder aus Fertigungsfehlern resultieren.
MTF，psf und strehl-verhältnis
Die Auswirkungen von Aberrationen werden auch durch die Berechnung der Punktbildfunktion (Point Spread Function, PSF), der Modulationsübertragungsfunktion (Modulation Transfer Function, MTF, oft auch als optische Übertragungsfunktion bezeichnet) oder des Strehl-Verhältnisses des optischen Systems charakterisiert.DiesegrößenLassenSichebenfalls aus der wellenfront ableiten。
Die Wellenfrontmessung und ihreweiterführendenliefern liefern demnach eine umfangreiche beschreibung der abbildungungnungungnungungschaftendesprüflings。
Unterschiedliche Aufbauten Mit Shack Hartmann Sensoren
Zur Messung der Wellenfront Sind Unterschiedliche Konfigurationen desMessaufbausMöglich。EntscheidendEdendfürdie auswahl der konfiguration ist jeweils，ob die optischen eigenschaften oder die die potographie eines eines einesprüflingsuntersucht untersucht werden soll。
Messung在传输中
Die Messung在传输中liefert InformationenüberDie optischen eigenschaften einer linse bzw.Eines Linsensystems。在Diesem秋季，Wird Die Wellenfront der Austspupille auf den Sensor abgebildet。dabei wird die gemessene wellenfront sowohl durch dieoberflächenals auch des brechungsindex der verwendeten材料beeinflusst。
Messung在传输MIT Infiniter Konfiguration中
Umgekehrte无限konfiguration
Bei Dieser konfiguration wird derderprüflingvon einer punktlichtquelle beleuchtet，在der brennebene desprüflingsbefindet中死亡。Die Austrittsspupille der Linse Wird Mit Hilfe des Teleskops auf dem wellenfrontsensor abgebildet。Der守护Zwischen Lichtquelle undprüfling，Die tim the the the Zuprüfendenlinse und die bildebene de bildebene des shack shack hartmann-sensensers werden sipart siparat siparat festgelegt。
Dieser Messaufbau Wird Bei den仪器Wavemaster®紧凑2和Wavemaster®ProVerwendet。
有限的konfiguration
Bei Dieser Konfiguration WirdZusätzlichZum umgekehrten Infiniten Messaufbauderprüflingientsprechend seiner seiner vorgesehenen vorgesehenen anwendung beleuchtet。DIES BEDEUTET，DASS DIE PUNKTLICHTQUELLE SICHT NICHT在Der BrennebenedesPrüflingsBefindet，Sondern，Einer Hierzu Durch das das das das Design das Design vorgebenen distanz。ZurVollständigenAbbildung desStrahlenbündelsAuf Dem传感器Wird Zwischen derZuPrüfendenlinse linse und teleskop weiterhin eine eine eine eine kollimierlinse eingesetzt。diese konfiguration ist nur bei deme demfürforschungs- und entwicklungszwecke empfohlenen仪器möglich。
Messung在反射中
Messungen在反射中liefern InformateenüberDieoberflächentopraphiedesPrüflings。Bei Dieser Messung Ist Die Beleuchtungseinheit Mit Dem dem strahlteiler vor dem dem wellenfrontsensor Montiert。Eine Kombination Aus Kollimierlinse和Teleskop Dient Zur BeluchtungdesPrüflings和Zur Abbildung der Reflektierten wellenfront auf auf dem dem dem dem dem shack hartmann传感器。
der反射 - messaufbau ist als leicht zu montierendes modulfürale a pawesensor-produkteerhältlich。EinzelprüflingeKönnensowohl mit demWavemaster®紧凑的反射UND DEMWavemaster®紧凑型2通用Gemessen Werden。
Umgekehrte无限konfiguration
有限的konfiguration
Messung在反射中