µ阶段®
干涉仪zur Messung der Oberflächen- und Wellenfrontdeformation
μ阶段®干涉仪erlauben die schnelle und hochpräzise Messung der Oberflächen- und Wellenfrontdeformation reflektierender和transmittierender Bauteile aus Glas, kunstststoff, Metall, Keramik, o. ä。Die objektiven und zuverlässigen Ergebnisse erfüllen Die höchsten Anforderungen des Qualitätsmanagements。Durch das berührungslose Messverfahren können Beschädigungen des Prüflings ausgeschlossen werden。
Hochprazise
模具hochpräzise Messung erfolgt über Die komplette Oberflächen- und Wellenfrontdeformation von planen, sphärischen, zylindrischen, torischen und asphärischen Bauteilen。
Universell
µ阶段®kann universell für alle Oberflächen mit eine Reflektivität zwischen 0,2% und 100% aus z. B. Glas, Kunststoff, Metall und Keramik eingesetzt werden。
Zuverlassig
模具目标数字Messung verhindert Einflüsse des Bedieners。Ebenso sorgt das robust und staubdichte Gehäuse für eine hohe Zuverlässigkeit。
Produktubersicht
μ阶段®干涉仪sinsehr kompakt gebaute, kleine und leichte digitale Geräte, die siich in nahezu jeder Arbeitsumgebung verwenden lassen。Unterstützt durch die软件μShape lassen siich umfangreiche Messauswertungen vornehmen。
干涉测量的基础是TRIOPTICS元件μPhase®传感器。Dieser ist, entsprechend den unterschiedlichen Messaufgaben，模块化mit verschiedenmessdurchmessern und Stativen konfigurierbar。Ebenso können kundenspezifische Lösungen kostengünstig angeboten werden。
µ阶段®3.1 / 3.2/3.3。
霍克flexibel
Der Twyman-Green-Interferometer-Sensorµ阶段®ist mit identischer Bauformen für unterschiedliche Auflösungen erhältlich und kann in Ihrem Messaufbau integriert werden。
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Möglichkeit der Fokussierung und under Anpassung der Oberflächenreflektivität (nurµPhase®3.3)
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Fertigungsmaschinen和producktionslinien问题的集成möglich
µ阶段®垂直3
Vielseitig
Hochflexibles and voll ausgestattes干涉仪系统für Fertigung, Werkstatt and Labor。
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Motorisierte vertikale Z-Achse
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Einzigartiges设计für alle Arten von Reflexions- und Transmissionsmessungen
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Integrierte automatische Radienmessung
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Kompakte Bauweise mit vertikalem Messaufbau für geringen Platzbedarf
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Optimale Prüflingsausrichtung durch integrerten Kipp- sowie x - y verschiebetisch
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Modulare Bauweise zur Optimierung an die Messbedürfnisse
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可选:Verwendung eines Tray-Halters和eines motorisierten x - y schlittens zur automatischen Form- und Radienmessung vieler Prüflinge在nur einem Durchgang
µ阶段®垂直专业
Automatisierung
Mit seinem Tray kann dasµPhase®垂直PRO 20 bis 30 Prüflinge automatisiert vermessen。
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Messung von sphärischen, torischen und asphärischen Linsen sowie Prüflingen aus Glas, Kunststoff oder Metall
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Höchste Genauigkeit bei Radien von bis zu 50毫米
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Frei konfigurierer和schnell wechselbarer Prüflingshalter
µ阶段®普莱诺了
kompakt杂志构造
µ阶段®PLANO DOWN eignet siich seinem kompakten Aufbau für die Messung planer Komponenten in Forschung und Entwicklung sowie in der production。
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Messbereich für Durchmesser bis zu 150毫米
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Prüflinge werden auf der Granitplatte platziert und von oben gemessen
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在der Regel keine Schwingungsisolierung erforderlich, da das Gerät eine massive Granitbasis aufweist
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Kompakte Bauweise和geringer Platzbedarf
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Einfache Handhabung durch höhenverstellbare Säulen
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个人顺从的人
µ阶段®普莱诺了
普兰林森在生产
Für die kosteneffektive Qualitätskontrolle von optischen Planflächen in der production ist dasµPhase®PLANO UP die perfekte Wahl
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Messbereich für Durchmesser bis zu 100毫米
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Kompakte Bauweise für geringen Platzbedarf zur Platzierung direkt neben der producktionsmaschine
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Prüflinge werden auf der Oberseite des Geräts auf einer Ringschneide oder Dreipunktauflage positioniert und unten gemessen
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Vibrationsunempfindlich
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这是一种新秩序
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个人顺从的人
µ阶段®球面上
Sphären在der生产
Sphärischer Oberflächen lassen siich in der production schnell和kosteneffektiv mit demµPhase®球面kontrollieren。
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Messbereich für Durchmesser bis zu 50毫米
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Kompakte Bauweise für geringen Platzbedarf zur Platzierung direkt neben der producktionsmaschine
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Prüflinge werden auf der Oberseite des Geräts auf einer Ringschneide oder Dreipunktauflage positioniert und unten gemessen
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Vibrationsunempfindlich
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这是一种新秩序
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个人顺从的人
µ阶段®圣/圣+ R
Flexibel和kosteneffektiv
Dasµ阶段®ST/ST+R kann在Forschung和Entwicklung sowie在生产柔性和kosteneffektiv eingesetzt werden。
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梅松根·冯·普拉宁和sphärischen Prüflingen
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Tischaufbau in kompakter Bauweise mit vertikalem Messaufbau für geringen Platzbedarf
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Optimale Prüflingsausrichtung durch integrerten Kipp- sowie x - y verschiebetisch
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Vertikale Achse mit Grob und Feinverstellung für hochpräzise Justage
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可选:数字Messeinheit zur Radiusmessung
µ阶段®通用
Hochste Variabilitat
世界上的Aufbau和die modularen Vorrichtungen desµPhase®UNIVERSAL bieten höchste Variabilität für Forschung und Entwicklung。
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2-， 4- oder 6-Zoll-Messsystem zur Prüfung planer und sphärischer Oberflächen
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Horizontaler Aufbau für Messungen langer Radien
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安徒生学院Kompatibel handelsüblichen 4-Zoll-Objektiven
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Optionaler CGH-Halter für die Messung von Asphären, Zylindern oder torischen Oberflächen
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MTF- und Homogenitätsmessungen auf Anfrage
µ阶段®定制解决方案
Kundenspezifische Losungen
达斯µ阶段®ist aufgrund seines modularen Aufbaus and des kompakten Designs in äußerst vielseitiges干涉仪für besondere Anforderungen。
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Kundenspezifische Lösungen für besondere Anwendungsbereiche auf Standardkomponenten基础
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Entwicklung zusätzlicher maßgeschneiderter Komponenten und Software-Module
TRIOPTICS bietet für Anwendungen, die über die gewöhnlichen Messanforderungen hinausgehen, umfassende Unterstützung zur Entwicklung anwendungsspezifischer system。Dasμ阶段®ist aufgrund seines modularen Aufbaus und des kompakten Designs in äußerst vielseitiges干涉仪。Das bedeutet, dass sich kundenspezifische Lösungen für besonere Anwendungsbereiche auf Basis von Standardkomponenten umsetzen lassen。Wir wählen die benötigten Komponenten aus und lassen durch unsere Anwendungs- und Software-Ingenieure bei Bedarf zusätzliche maßgeschneiderte Komponenten und Software-Module entwickeln。
Anwendungen
Unsereµ阶段®干涉仪ermöglichen folgende Messungen和Anwendungen:
- Messung planer, sphärischer, zylindrischer, torischer und asphärischer Oberflächen in Reflexion
- 绝对半径sphärischen, torischen und asphärischen Linsen
- Prufung适应性明镜
- Messung der Wellenfrontdeformation von transparenten Prüflingen
- Messungen von Kontaktlinsen和Formwerkzeugen
- Schnelle Offline- oder Online-Messung des tools - offset von ultrapräzisen Diamantdrehmaschinen nach dem Werkzeugwechsel
- Prüfung zahlreicher hochpräziser nicht-optischer Komponenten
- Anwendungen im Automobilsektor
- Medizinische Anwendungen
- Benutzerdefinierte Ausschuss-Kriterien für eine anwendungsorientierte Qualitätskontrolle im Vergleich zu Design-Daten oder Musterprüflingen
- Hohe Transparenz der mesdaten durch den Export der mesdaten jeder einzelnen Linse ermöglicht在Hinblick auf Materialdefekte and producktionsfehler最优生产
软件
µ形状
干涉仪的软件
Mit der软件µ-在der aktuellen版本8中形成的µ- Phase®最佳für den Einsatz sowohl in der production als auch in Forschung and Entwicklung gerüstet。模具软件steuert Die Messung, stellt umfangreiche Analysemöglichkeiten zur Verfügung und bietet eine vollständige Dokumentation。Messvorlagen bieten maximale Transparenz über den Messprozess und erlauben in schnelles Erfassen der Prüfergebnisse。
硅橡胶(Die klar strukturierte)， menü-basierte Benutzeroberfläche vonµShape wird dabei dem umfassenden Einsatz desµPhase®gerecht und lässt sich über die verfügbaren模块在unterschiedlichster Weise erweitern。Diese模块können jederzeit, auch noch nach Kauf desµPhase®系统,erganzt了。
模µ形状软件ist primär für den Betrieb desµPhase®沃登，坎·阿贝尔·奥赫祖姆劳动与劳动国家干涉测量法安德尔·安比特·根茨沃登。Die Entwicklung von kundenspezifischen Funktionen ist möglich。
- mehere Zugangslevel bieten benutzerspezifische Zugriffsmöglichkeiten, vom管理员bis zum Anwender在生产中
- Umfassende, kontextspezifische Direkt-Hilfe
- Einfache Bedienung和Verringerung des Schulungsbedarfs der Nutzer durch leicht vorkonfigurerbare Vorlagen für jede Art von Messaufgabe und Auswertung
- 舒适的再分析-选项gespeicherter Messungen ohne Neumessung
- Einfache Speicherung von Grafiken在verschiedenen Grafikformaten (bmp, jpg等)
- Schneller Daten-Export einzelner参数oder ausgewählter Datenfelder als Textdatei, Binärdatei oder anderen gebräuchlichen Dateiformaten (z. B. QED, Zygo XYZ, DigitalSurf, INT) zur externen Verarbeitung
- metropro - compatible Dateiformat, erweitert um Beispielparameter aus der Aufgabenbeschreibung
- Ein zusätzlicher二维多项式的拟合
- Das Messprotokoll bietet eine übersichtliche Gesamtdarstellung der Ergebnisse und lässt siich vielseitig konfigureren, inkl。Kunden-Logo
- Übersichtliche Aufbereitung under program - modi durch die separate Visualisierung von Kalibrier- und Messprozessen
- 在grafischen 2D- bzw。3D- und freiwählbaren Schnitt-Grafiken (1D) einschließlich des integrerten Live-Kamerabildes
- Schnelle Messung von siich wiederholenden Teilen durch Speicherung sämtlicher参数und einstein, einschließlich Fenstergröße und - position, mit Muster-Daten in einerµShape™-Programmdatei
- 灵活的和benutzerdefinierte Bildschirmanzeige, die sich an jeder Monitorgröße anpast
- 图片直播:Anzeige auf dem 2。Bildschirm als zusätzliches范斯特
- Immer auf dem aktuellen Stand der Technik durch kontinuierliche Weiterentwicklung mit regelmäßigen Updates - auf anfrag odals Software-Flatrate
- Vollständig kompatibel mit Windows 10 (64- und 32- bit - system)
“球面”:Asphärenanalyse在sphärischen bzw。CGH-Setups
- Das Asphären-Modul ermöglicht die Auswertung starker Asphären在einem asphärischen安装mithilife eines计算机通用全息图(CGH) sowie schwacher Asphären在sphärischen安装。《别施莱宾报》Asphäre kann eingegeben und gespeichert werden。大北verschiedene甲酸酯(旋转对称)unterstützt。Verbleibende Justierfehler sowie systematische setup fehler werden durch eine asphärischen jusstagefit kompensiert
“气缸”:Zylinderanalyse
- Das zylinder -模分析仪zylindrische Prüflinge在einem zylindrischen Setup (mit CGH)。这就是所谓的“公正”。
" Extern接口":Externe Kommunikationsschnittstelle
- Das externe schnittstellen - module ermöglicht die Kommunikation zwischenµShape™und externe Software wie LabVIEW™zur Steuerung des干涉仪外部程序，z. B. innerhalb eines automatisierten Systems
“FastFringe”:Statische Streifenanalyse
- Dieses模ermöglicht die Auswertung eines einzelnen Interferogramms für Messungen in不稳定Umgebungen oder mit interferometerohne phasenschiebeinheit。
“光纤连接器”:Glasfaserstecker-Analyse
- Die Glasfaserstecker-Erweiterung ermöglicht Die Auswertung der Endflächen von Glasfaser-Anschlüssen des Typs PC(物理接触= Körperkontakt) gemäß internationaler IEC-Konvention。mit nur einer Messung erhoben和optional mit Gut/Schlecht-Auswertung angezeigt。
“同质化”:马士基Homogenität透明器Prüflinge
- 在einem separate programming können beide den optischen Weg durch den Prüfling beeinfussenden Aspekte, d. h. die Homogenität (Brechungsindexes变型)einerseits und die Dickenvariation anderseits, bestimmt werden。
“数学模式”:Mathematikmode
- Dieser program - modus erlaubt es, unterschiedliche Datenzuordnungen in combination mit mathematischen Berechnungen zu einer zusätzlichen Ergebniszuordnung auszuwerten。Matrix-Berechnungen信德nicht möglich。
“多光圈”:分析mehrerer-Teilflächen在einer Messung
- 迪森斯模组ermöglicht die gemeinsame Messung und Analyse von nicht miteinander verbundenen Einzelaperturen innerhalb eines Sichtfelds, z. B. für die Messung von Prüflingen auf Polierköpfen。
Die Messbarkeit mehrer Einzelaperturen ermöglicht auch eineKeilwinkel-Analyse．Mit diese Analyse können der Keilwinkel planer Spiegel sowie der optische Keil planer Übertragungsplatten in einem Arbeitsschritt bestimmt werden。
“多重统计”:Identische statistical - analysis auf mehreren Teil-Aperturen
- 信德Prüflingsspezifikation unterschiedliche Werte für verschiedene Teilbereiche desselben Prüflings definiert worden, ermöglicht das multistat - moduldie identische Auswertung aller Bereiche innerhalb einer einzigen Messung。埃尔吉尼斯报für Die einzelnen Bereiche werden separat ausgegeben。
“MTF / PSF”:MTF-Analyse
- 我是贝瑞奇光学系统MTF verwendet, um die Qualität贝瑞本光学系统。Das Modul ermöglicht die Bestimmung der MTF fokaler bzw。阿弗拉optischer Bauteile和系统。
“棱镜”:Prismen-Analyse
- Winkelfehler - 90°- und Tripelprismen können干涉测量技术(interferometrisch gemessen werden, indem die durch Winkelabweichung) 90°- bzw。0°-Zielwinkeln beobachteten Interferenzmuster ausgewerden。
“粗糙度/PSD”:分析von Rauheit和PSD
- Mithilfe柴油模块können sowohl die功率谱密度(PSD) auch rauheit参数auf frei definieraren geraden Schnitten bestimmt werden。
“正常数据样本”:Berücksichtigung bekannter Prüflingsabweichungen
- Die Verwendung von Prüflingsdaten(样本正常数据- SND) ermöglicht es, zusätzliche Fehler des Prüflings während der Prüfung zu berücksichtigen, z. B. Abweichungen aufgrund der optischen Konstruktion (konstruktionsbedingte Nennwerte)
科技Daten
| 参数 | µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 球面上 |
µ阶段® 圣/圣+ R |
µ阶段® 垂直3 |
µ阶段® 垂直专业 |
µ阶段® 通用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Benutzung | Produktion | Produktion | Produktion | 研发、Produktion | 研发、Produktion | Produktion Messung分批 |
研发 |
| Pruflingstyp | 计划 | 计划 | Spharisch | 计划 Spharisch |
计划 Spharisch Torisch Aspharisch |
Spharisch Torisch Aspharisch |
计划 Spharisch Torisch Aspharisch Zylindrisch |
| Pruflingsgroße (Messbereich) | Verschiedene最大版本。Ø150毫米 | Verschiedene Versionen bis max。Ø150毫米 |
Max。Ø50毫米 Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv |
Max。Ø50毫米 Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv |
Max。Ø100毫米 Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv |
最佳für kleine Durchmesser | Max。Ø100毫米 Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv |
| Max。Pruflingsgewicht | 5公斤 | 1、5公斤 (abhangig冯Konfiguration) |
1.5公斤(abhängig von配置) | 1、5公斤 | 1、5公斤 | 1、5公斤 | 1、5公斤 |
| Justierelemente | Manuelle Kippung | Manuelle Kippung | Manuelle XY-Justage, Kipptisch和z-Fokussierung (wenige mm) | Manuelle XY-Justage, Kipptisch和z-Fokussierung | manuel Kipptisch manuel XY-Tisch Motorisierte, PC-gesteuerte Z-Achse |
Motorisierte PC-gesteuerte X / Y / Z-Achse | manuel Kipptisch manuel XY-Tisch Manuelle Z-Achse |
| Prufbereich Radienmessung | 不verfugbar | 不verfugbar | 打印尺寸为10毫米…200毫米 相对Radiusmessung im Vergleich gegen ein Radiennormal, Bereich abhängig von Prüfobjektiv und Halter |
Ca。220毫米 绝对Radiusmessung mit Messtaster(模拟量数字) |
300毫米bis 500毫米abhängig von der Testoptik 集成化，自动化，绝对辐射 |
马克斯。50毫米 集成化，自动化，绝对辐射 |
Bis zu 2 m, abhängig von Prüfobjektiv und Länge der Radienmessschiene integrierte绝对Radiusmessung Für lange Radien geeignet |
| Genauigkeit Radienmessung | Abhängig von der Genauigkeit des Radiennormals | Abhangig vom Langenmesstaster: 0,盘中µm |
5µm gesamt 2µm内胆10cm Mit zusätzlichen Längenmesstaster bis zu 0,1µm |
±0,1µm | 30µm | ||
| Abmessungen (高x宽x高) |
Grundflache: S: 300 x 300 mm²(免费Arbeitsfläche 180 x 180 mm²) L: 440 x 440 mm²(免费Arbeitsfläche 330 x 330 mm²) 免费Arbeitshöhe: 110毫米/ 155毫米/ 200毫米 |
500 × 200 × 200 mm³ | 500 × 200 × 200 mm³ | 500 × 300 × 400毫米³ Verfahrbereich zwischen 160毫米…300mm³(abhängig von配置) |
780 x 350 x 422毫米³ | 350 × 530 × 750毫米³ | 500 × 2500 × 400毫米³(Breite abhängig von der Länge der Radienmessschiene) |
| 重量 | S: 25公斤L: 45公斤 | 5公斤…20公斤(abhängig von der配置) | 5公斤…20公斤(abhängig von der配置) | 20公斤 | 60公斤 | 100公斤 | 30公斤(abhängig von配置) |
| Typ | Tischgerat | Tischgerat | Tischgerat | Tischgerat | Tischgerat | Tischgerat | Tischgerat |
| Optionale Messmoglichkeiten | Transmissionsmessung | Mit Add-ons z.B.多光圈，摇摆，工具偏移 Transmissionsmessungen |
CGH Halterung für die Messung von Asphären，气缸订购torischen Oberflächen Mit Add-ons z.B.多光圈，摇摆，工具偏移 Transmissionsmessungen |
科技Datenµ阶段®传感器
| 参数 | µ阶段®3．1 | µ阶段®3.2 | µ阶段®3．3 | µ阶段®3.3(饮料) |
|---|---|---|---|---|
| Kameraauflosung | 608 x 608像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 |
| Reflexionseinstellungen | feste设置, Geeignet für 4%…80% |
feste设置, Geeignet für 4%…80% |
0.5%， 1%， 4%， 80% | 0.0%， 1%， 4%， 80% |
| Messwellenlange | 632.8纳米 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
632.8纳米, 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
632.8纳米, 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
632.8纳米, 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
| Fokussiermoglichkeit | 不行 | 不行 | 晶澳 | 晶澳 |
| Abmessungen (高x宽x高) |
121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 |
| 重量 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 |
| Typ | 麻省理工学院Twyman-Green-Interferometer Phasenverschiebung | 麻省理工学院Twyman-Green-Interferometer Phasenverschiebung | 麻省理工学院Twyman-Green-Interferometer Phasenverschiebung | 麻省理工学院Twyman-Green-Interferometer Phasenverschiebung Konvertierbar苏珥Fizeau-Messmethode |
| PV Wiederholgenauigkeit | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 |
| RMS Wiederholgenauigkeit | λ/ 1200 | λ/ 6500 | λ/ 6500 | λ/ 6500 |
| Messungenauigkeit mit PC/unterstützter Auswertung | λ/ 20 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
λ/ 20 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
λ/ 20 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
λ/ 20 安德利果汁Anfrage汪汪汪 |
升级& Zubehor
- 更换desµ阶段®传感器冯µ阶段®3.1µ阶段汪汪汪®3.3 für eine Erhöhung der Kameraauflösung von 608 x 608 Pixel auf 1216 x 1216 Pixel
- Standardwellenlänge 632,8纳米，Wellenlängen zwischen 355纳米und 1100纳米auf Anfrage möglich
- 水平-奥得河Vertikal-Stative
死µ阶段®-Grundgeräte und die Planobjektive verfügen über einen Bajonettanschluss, der einen schnellen和leichten Wechsel zwischen verschedensystemaufbauten ermöglicht。 - 平面和sphärische Kalibrierflächen在verschiedenen Durchmessern
- Unbeschichtet
- Verspiegelt
- Lizenz für晶片离线分析和制作Büroarbeitsplätzen ohne direkten Zugriff晶片µ阶段®硬件
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电子硅片-硅片-硅片-硅片-硅片 |
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硅片-硅片-硅片-硅片-硅片-硅片 |
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麻省理工学院InterOptics服务
不提供独家合作伙伴mit der FirmaInterOptics， LLC biet zusätzliche Möglichkeiten。所以德国vermarkten wir和ausgewählten Ländern neben unseremµPhase®auch das干涉仪OptoFlat - einen ausgesprochenen Spezialisten für Planoptiken。
OptoFlat
Spezialist毛皮Planoptiken
Das Kurzkohärenzinterferometer OptoFlat ist spezialisiert auf die Messung von planen Optiken。
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Ein für模具生产sowie für模具Forschung geeignetes干涉仪für平面Flächen mit Sub-Nanometer-Präzision
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LED-Beleuchtungssystem minimiert kohärente Artefakte
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Berührungsloser, gestengesteuerter Sensor start die Messung ohne TastatureingabenI
知识库
干涉仪
Twyman-Green-Aufbau
Der flexibelste Interferometer-Aufbau
Ein twyman - green干涉仪即Ein modifiziertes michelson干涉仪。Hier ist der Strahlteiler von der Bezugsfläche getrennt。Der Vorteil dieser配置最佳größerer Flexibilität, weil beide Interferometerarme unabhängig voneinander eingestellt werden können。Die Intensitäten von Bezugsarm和Prüfarm können也有问题，aneinander angelep助理werden, um maximalen Streifenkontrast zu erzielen。Nur ein maximaler Streifenkontrast ermöglicht eine maximale Auflösung in der Tiefe。德国哲学家们的理论Prüflingen mit unterschiedlichen reflexiongraden mit maximkontrast and erweitert as Anwendungsspektrum ganz erheblich。Die Bezugsfläche kann eine Oberfläche sein, Die kostengünstig und unabhängig von der Prüflingsgröße ist。Die Anpassung an Die Prüflingsgröße wird durch Anordnung konventioneller Strahlformungsoptik im Prüfarm erzielt。Im Gegensatz zu der Strahlformungsoptik，死于Fizeau-Interferometern verwendet世界，benötigt diese Optik keine teure Fizeau-Oberfläche als letzte Oberfläche。
信息传播工具Flexibilität werden die Interferenzmuster nict nur durch die Prüflingsfehler verursacht, sondern auch durch Aberrationen zusätzlicher Optiken in den interferometermen hervorgerufen。Da Prüflinge heute jedoch i. A. nicht mehr anhand visuer interferenzstreifenmusstersbewertung analyzer, sondern durch computergestützte phasenanalysenbewerden, können die Aberrationen der zusätzlichen Optik leicht bei dieser Analyse berücksichtigt werden。Schließlich liefert die软件目标数字化Messergebnis。
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迪塞尔·阿蒂克尔帽子你是谁?你想要这样做吗?
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Die letzte Fläche der Interferometeroptik wirals Fizeau-Oberfläche bezeichnet。Sie muss die gleiche Form haben wie der der mesende Prüfling (im Allgemeinen sphärisch oder plan)和我们的schoptischen Strahlengang platziert, sodass die einzelnen Strahlen die Fizeau-Oberfläche im rechten Winkel durchsetzen。Der größte Teil des Lichts get durch die Fizeau-Oberfläche und wird an Der Prüflingsfläche reflektier。大北野der Prüflingsflächenfehler als Phasenabweichung der Prüfwellenfront aufgeprägt。Das zurückgeworfene Licht interferiert mit dem des Lichts, der an der Fizeau-Oberfläche reflektiert wurde。死Fizeau-Oberfläche wirkt也sowohl als Strahlteiler wie auch als Bezugsfläche。Die Kavität, Die durch Die Fizeau-Ober- und Die Prüffläche gebildet wird, enthält somit keine zusätzlichen optischen Elemente, Die Die Interferenz verfälschen。菲氏干涉图normalerise die Abweichung des Prüflings von der Bezugsfläche, d.h. der Fizeau-Oberfläche direkt zeigt。模具Qualität der Fizeau-Oberfläche bestimmt Die Genauigkeit des fizeau干涉仪。Fizeau-Oberflächen stehen gebräuchlicherweise mit einer Qualität von λ/10 - λ/20 PV zur Verfügung, höhere Güten sind auf anfrag erhältlich。