µ阶段®
用于测量表面和波前变形的干涉仪
µPhase®干涉仪允许快速，高精度测量反射和透射组件的表面和波前变形，由玻璃，塑料，金属，陶瓷或类似材料制成。结果客观可靠，符合最高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止对样品的损坏。
高度精确的
Mulitpurpose
可靠的
产品概述
µ阶段®干涉仪是一种非常紧凑、小巧和轻便的数字设备，几乎可以用于任何工作环境。有了µShape软件的支持，可以进行广泛的测量分析。
µ阶段®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可配置各种测量直径，代表特定的测量任务。此外，还可以提供低成本的定制解决方案。
µ阶段®3.1 / 3.2/3.3。
高度灵活的
Twyman Green干涉仪传感器µPhase®可用于不同分辨率的相同设计，并可集成到您的设置中。
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表面反射率的聚焦和调整是可能的®3.3只有)
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制造机器和生产线的集成是可能的
µ阶段®垂直3
多才多艺的
高度灵活，装备齐全的干涉仪系统，用于制造，车间和实验室
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电动垂直z轴
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独特的设计，适用于所有类型的反射和透射测量
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综合自动半径测量
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紧凑的设计，垂直测量结构，适合小空间
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最佳样本对齐由于综合倾斜和X-Y平移表
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根据测量要求进行模块化优化设计
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可选:使用托盘托架和电动X-Y托架，一次对许多样品进行表面和半径的自动测量
µ阶段®垂直专业
自动化
有了它的托盘，即µPhase®VERTICAL PRO可自动测量20至30个样品。
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球面、环面和非球面透镜的测量，以及玻璃、塑料或金属样品的测量
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最高精度的样品半径达50毫米
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可自由配置，快速更换样品架
µ阶段®普莱诺了
结构紧凑
µ阶段®PLANO DOWN设计紧凑，适用于研发和生产中的平面元件测量
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测量范围可达150毫米直径
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把样品放在花岗岩板上，从上面开始测量
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由于该装置有坚固的花岗岩底座，因此通常不需要隔振
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设计紧凑，占地面积小
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立柱高度可调，操作方便
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也可以由未经培训的人员使用，因为它的直观和易于操作
µ阶段®普莱诺了
生产中的平面镜头
为了在生产过程中对光学平面进行性价比高的质量控制®PLANO UP是完美的选择。
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测量范围为直径达100毫米
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设计紧凑，空间小，可放置在生产机器旁边
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样品放置在设备顶部的环形卡盘或三点支架上，并从下方测量
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耐振动
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串行测量不需要中间重新排列
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也可以由未经培训的人员使用，因为它的直观和易于操作
µ阶段®球面上
在生产领域
球形表面可以在生产中快速和经济有效地控制与µPhase®球面。
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测量范围可达50毫米直径
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设计紧凑，空间小，可放置在生产机器旁边
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样品放置在设备顶部的环形卡盘或三点支架上，并从下方测量
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耐振动
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串行测量不需要中间重新排列
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也可以由未经培训的人员使用，因为它的直观和易于操作
µ阶段®圣/圣+ R
灵活和有成本效益的
µ阶段®ST/ST+R可在研发和生产中灵活使用，成本效益高。
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平面和球形样品的测量
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紧凑的桌面站立垂直测量，占地面积小
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最佳样品对齐与综合尖端/倾斜和xy平移阶段
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垂直轴具有粗细调节，调节精度高
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可选:数字测量单位的半径
µ阶段®通用
最高的可变性
由于它的多用途结构和模块化设计®UNIVERSAL在研究和开发方面提供最高的可变性
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2、4或6英寸测量系统，用于测试平面和球面
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用于测量长半径的水平结构
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兼容其他传统4英寸镜头
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可选的CGH支架，用于测量非球面，圆柱体或环面
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根据要求进行MTF和均匀性测量
µ阶段®定制解决方案
特定于应用程序的开发
其模块化的结构和紧凑的设计使系统的性能稳定®一个高度通用的干涉仪-甚至超出通常的测量要求。
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基于标准组件，可实现特殊应用的定制化解决方案
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开发额外的定制组件和软件模块
对于超出通常测量要求的应用，TRIOPTICS为特定应用系统的开发提供全面的支持。它的模块化结构和紧凑的设计使μPhase®高度通用的干涉仪。这意味着特殊应用的定制解决方案可以基于标准组件实现。我们选择所需的组件，并让我们的应用和软件工程师开发额外的定制组件和软件模块(如果需要的话)。
应用程序
µ阶段®干涉仪可进行以下测量和应用:
- 平面、球面、圆柱、环面和非球面反射的测量
- 球面、环面和非球面透镜绝对半径的测量
- 自适应镜测试
- 透明样品波前变形的测量
- 隐形眼镜和成型工具的测量
- 超精密金刚石车床换刀后的刀位快速离线或在线测量
- 测试众多高精度、非光学元件
- 汽车应用程序
- 医学应用
软件
µ形状
干涉仪的软件
在当前版本8中，可以自由配置的µShape软件，µPhase®是生产和研究开发的理想设备。该软件控制测量，提供全面的分析选项，并提供完整的文档。测量模板提供了关于测量过程的最大透明度，并允许快速记录测试结果。
基于菜单的、结构清晰的μ - Shape用户界面始终符合μ - Phase的综合使用®并且可以通过可用的模块以多种不同的方式进行扩展。这些模块可以在任何时候添加，甚至在购买了µPhase之后®系统。
初步开发了用于电子粘粒(μ)阶段的电子粘粒(μ)形状软件®操作也可用于操作实验室和车间的干涉仪来自其他厂家。定制功能的开发成为可能。
- 各种访问级别允许特定于用户的访问选项，从管理员到生产用户
- 全面的、上下文相关的直接帮助
- 对于任何类型的测量任务和分析来说，使用起来都很容易，而且用户需要的培训也更少
- 舒适的重新分析选项保存的测量，无需重新测量
- 轻松存储各种图形格式的图形(bmp, jpg等)
- 快速导出单个参数或选定的数据字段作为文本文件、二进制文件或其他常用的文件格式(如QED、Zygo XYZ、DigitalSurf、INT)进行外部处理
- MetroPro兼容的文件格式扩展了任务描述中的示例参数
- 额外的二维多项式拟合
- 测量报告提供了结果的全面表示，并且可以通过多种方式进行配置，包括客户标识
- 通过校准和测量过程的单独可视化，清晰结构化地展示程序模式
- 综合展示测量参数作为测量值，图形的2D或3D或自由选择截面图形(1D)，包括集成的实时摄像机图像
- 快速测量重复性部件存储所有参数和设置，包括窗口大小和位置，与样本文件在一个µShape™程序文件
- 灵活和自定义屏幕显示，适应任何显示器大小
- 实时图像:显示在第二个屏幕作为一个额外的窗口
- 通过持续的开发和定期的更新，总是最新的技术-根据要求或作为软件的统一费率
- 完全兼容Windows 10(64位和32位系统)
“非球面”:球面或CGH装置中的非球面分析
- 非球面模块可以在计算机全息图(CGH)的帮助下分析非球面装置中的强非球面，也可以在球面装置中分析弱非球面。可以输入和保存球面的描述信息。支持各种格式(旋转对称)。剩余的调整误差以及系统设置误差由非球面调整配合补偿。
“气缸”:汽缸分析
- 圆柱形模块在圆柱形装置中分析圆柱形样品(使用CGH)。剩余的调整误差由圆柱调整配合补偿。
Extern Interface:外部通信接口
- 外部接口模块允许μ - Shape™和外部软件(如LabVIEW™)之间通信，通过外部程序(如在自动化系统内)控制干涉仪
“FastFringe”:静态条纹分析
- 该模块能够在不稳定的环境或无移相装置的干涉仪中分析单个干涉图。
“光纤连接器”:光纤连接器分析
- 根据国际IEC公约，光纤连接器模块允许分析光纤连接类型PC(物理接触)的端面。主要参数仅通过一次测量收集;这包括一个可选的通过/失败分析显示。
“均匀性”:测量透明样品的均匀性
- 影响通过样品的光路的两个方面，即均匀性(折射率的变化)和厚度的变化，可以在单独的程序模式下确定。
数学模式:数学模式
- 这种程序模式允许对各种数据赋值进行分析，并结合数学计算对结果进行额外赋值。矩阵计算是不可能的。
“多光圈”:一步分析多个光圈
- 该模块允许在一个视场内对单个不相连的孔进行联合测量和分析，例如对安装在抛光头上的组件进行测量。
同时测量不连接的光圈的可能性也使一个楔形分析．该分析可用于一步确定平面镜的楔角，以及在物体后面附加一个反射镜的平面镜的光楔。
“多重统计”:对多个子孔径进行相同统计分析
- 如果样品规范对同一样品的不同子部分定义了不同的限制，MultiStat模块允许在一次测量中对所有子区域进行相同的分析。每部分的结果都是单独发布的。
“MTF / PSF”:MTF分析
- 在光学领域，MTF被用来描述光学系统的质量。该模块允许计算焦和焦光学组件和系统的MTF
“棱镜”:棱镜分析
- 通过分析90°和0°目标角的误差偏差所观察到的干涉图，可以干涉测量90°和三棱镜的角误差。
“粗糙度/ PSD”:分析粗糙度和PSD
- 该模块可以沿自由定义的直线计算功率谱密度(PSD)以及粗糙度参数。
“样本正态数据”:考虑已知的样本偏差
- 使用样本数据(样本正常数据- SND)允许识别额外的样本误差，并将其包括在测试中，例如，由于光学设计(基于设计的标称值)造成的偏差。
技术数据
| 参数 | µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 球面上 |
µ阶段® 圣/圣+ R |
µ阶段® 垂直3 |
µ阶段® 垂直专业 |
µ阶段® 通用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 利用 | 生产 | 生产 | 生产 | 研发、生产 | 研发、生产 | 生产 批量测量 |
研发 |
| 样本类型 | 平 | 平 | 球形 | 平 球形 |
平 球形 复曲面的 非球面 |
球形 复曲面的 非球面 |
平 球形 复曲面的 非球面 圆柱 |
| 样本量(测量范围) | 不同版本 马克斯。Ø150毫米 |
不同版本 马克斯。Ø150毫米 |
样本大小取决于测量目标 | Max。Ø50毫米 样品大小取决于版本和测试镜头 |
Max。Ø100毫米 样本大小取决于测量目标 |
适合小直径 | Max。Ø150毫米 样品大小取决于版本和测试镜头 |
| Max。样品重量 | 5公斤 | 1.5公斤 (根据onconfiguration) |
1.5公斤 (根据配置) |
1.5公斤 | 1.5公斤 | 1.5公斤 | 1.5公斤 |
| 校准工具 | 手动倾斜 | 手动倾斜 | 手动XY调整，倾斜台和z轴对焦(几毫米) | 手动XY调整, 倾斜台和z轴聚焦 |
手动倾斜 手动XY表 机动,计算机控制的z轴 |
机动,计算机控制的X / Y / z轴 | 手动倾斜 手动XY表 手动z轴 |
| 测试距离半径测量 | 不可用 | 不可用 | 通常是10毫米…200毫米 相对半径法向测量相对半径，量程取决于测试目标和持具 |
约220毫米 用量规测量绝对半径(模拟或数字) |
300到500毫米取决于测试光学 集成自动化绝对半径测量 |
马克斯。50毫米 集成自动化绝对半径测量 |
可达2米，取决于测试目标和半径测量轨的长度 综合绝对半径测量 特别是对于长半径 |
| 半径的测量精度 | - | - | 取决于半径法向的精度 | 取决于测量: 0,盘中µm |
5µm整体 2µm, 10mm 附加厚度可达0.1µm |
±0.1µm | 30µm |
| 维 (高x宽x深) |
基础: S: 300 x 300 mm²(自由工作距离180 x 180 mm²) L: 440 x 440 mm²(自由工作距离330 x 330 mm²) 自由作业高度:110mm / 155mm / 200mm |
500 × 200 × 200 mm³ | 500 × 200 × 200 mm³ | 500 × 300 × 400毫米³ 移动范围160- 300mm(根据配置而定) |
780 x 350 x 422毫米³ | 350 × 530 × 750毫米³ | 500 × 2500 × 400mm³(宽度根据轨道长度而定) |
| 重量 | S: 25公斤L: 45公斤 | 5公斤…20kg(根据配置不同) | 5公斤…20kg(根据配置不同) | 20公斤 | 60公斤 | 100公斤 | 30kg(根据配置不同) |
| 类型 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 |
| 选项 | 传输测量 | 通过插件。多光圈，波动，工具偏移 传输测量 |
CGH支架，用于测量非球面、圆柱体或环面 通过插件。多光圈，波动，工具偏移 传输测量 |
技术数据µ阶段®传感器
| 参数 | µ阶段®3．1 | µ阶段®3.2 | µ阶段®3．3 | µ阶段®3.3(饮料) |
|---|---|---|---|---|
| 相机的分辨率 | 608 x 608像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 |
| 反射的设置 | 固定的设置, 适合4%…80% |
固定的设置, 适合4%…80% |
0.5%， 1%， 4%， 80% | 0.0%， 1%， 4%， 80% |
| 测量波长 | 632.8纳米 其他请求 |
632.8纳米, 其他请求 |
632.8纳米, 其他请求 |
632.8纳米, 其他请求 |
| 重点选择 | 没有 | 没有 | 是的 | 是的 |
| 维 (高x宽x深) |
121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 | 121毫米× 97毫米× 57毫米 |
| 重量 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 |
| 类型 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 | Twyman-Green移相干涉仪 可转换为菲索测量模式 |
| PV重复性 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 |
| RMS代表eatability | λ/ 1200 | λ/ 6500 | λ/ 6500 | λ/ 6500 |
| 基于pc的测量不确定度评定 | λ/ 20 其他请求 |
λ/ 20 其他请求 |
λ/ 20 其他请求 |
λ/ 20 其他请求 |
升级&配件
- 替换µPhase®传感器从µ阶段®1 -µ阶段®3.3相机分辨率从608 x 608像素提高到1216 x 1216像素
- 标准波长632.8 nm，波长在355 nm和1100 nm之间可能的要求
- 水平或垂直支架
基本µ阶段®单位和平面透镜有一个卡口连接，允许快速和容易地改变不同的系统结构。 - 各种直径的平面和球面校准表面
- 裸
- 镜像
- 可以在办公室工作站进行离线分析和文档编制，但不能直接访问µ阶段®硬件
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物镜与µ- Lens SPHERO |
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目的在与硅片用硅片(µLens SPHERO |
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与InterOptics合作
我们与InterOptics， LLC提供了更多的可能性。在德国和选定的国家，我们销售我们的产品®以及OptoFlat干涉仪——平面光学的专家。
OptoFlat
平面光学专家
OptoFlat短相干干涉仪是专门用于平面光学测量的。
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可生产和研究亚纳米精度的平面度干涉仪
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LED照明系统最大限度地减少相干伪影
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无需键盘输入，手波式无触摸传感器即可启动测量
知识库
干涉仪
Twyman-Green设置
最灵活的干涉仪设置
泰曼-格林干涉仪是一种改进的迈克尔逊干涉仪。这里分束器与参考面分离。这种配置的优点是更大的灵活性，因为两个干涉仪臂可以彼此独立地修改。因此，根据不同的样品反射率，基准和测试臂的强度可以很容易地相互适应，以获得最大的条纹对比度。这极大地增加了应用范围。只有最大的条纹对比度才能获得最大的深度分辨率。参考表面可以是一个表面，是廉价和准确生产，无论样品大小。通过在测试臂上引入常规光束整形光学来实现对样品尺寸的适应。与菲索干涉仪的光束整形光学相反，这些光学不需要昂贵的菲索表面作为最终表面。
由于这种灵活性，干涉图样不仅是由样品误差引起的，而且还由单个干涉仪臂中附加光学元件的像差引起的。然而，现在样品的评价不再是通过条纹图的目视检查，而是通过计算机控制的相位图分析造成条纹图。在分析过程中，可以很容易地考虑附加光学元件的像差。最后，软件给出了客观的数字化测量结果。
为专家提供更多知识
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Twyman-Green建设
斐索干涉建设
波前和表面测量用菲索干涉仪
斐索干涉设置
最常用的干涉仪设置
光束整形光学的最后一个表面是所谓的菲索表面。它必须与待测样品具有相同的形状(通常是球形或扁平的)，并以同心的方式放置在光路中，这样光线就会垂直于菲索表面相交。大部分光线通过菲索表面并在测试表面反射。返回的光与菲索表面反射的部分光相干扰。因此，菲索表面作为分束器和参考表面。因此，腔体是由菲索和测试表面之间的间隙形成的，不包含额外的光学元件。这就是为什么菲索干涉图通常直接显示测试样品与参考表面(即菲索表面)的偏差的原因。菲索表面的质量决定了菲索干涉仪的精度。菲索表面通常可与质量λ/10 - λ/20 PV，更好的要求。