µ阶段®
用于测量表面和波前变形的干涉仪
µPhase®干涉仪允许快速，高精度的测量表面和波前变形的反射和传输组件由玻璃，塑料，金属，陶瓷或类似的材料。客观可靠的结果满足最高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止样品损坏。
高度精确的
Mulitpurpose
可靠的
产品概述
µ阶段®干涉仪是非常紧凑、小巧和轻便的数字设备，几乎可以在任何工作环境中使用。在µShape软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。
µ阶段®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可以配置不同的测量直径，适用于特定的测量任务。此外，还可以提供低成本的定制解决方案。
µ阶段®3.1 / 3.2/3.3。
高度灵活的
Twyman Green干涉仪传感器µPhase®具有相同的设计，可用于不同的分辨率，并可集成到您的设置中。
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聚焦和调整表面反射率是可能的(µ相®3.3只有)
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制造机器和生产线的集成是可能的
µ阶段®垂直3
多才多艺的
高度灵活和装备齐全的干涉仪系统，适用于制造、车间和实验室
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电动垂直z轴
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独特的设计，为所有类型的反射和传输测量
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综合自动半径测量
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紧凑的设计，垂直测量结构，小空间
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由于综合倾斜和X-Y平移表的最佳样本对齐
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基于测量要求的模块化优化设计
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可选:使用托盘支架和一个电动X-Y车厢，用于自动测量多个样品的表面和半径
µ阶段®垂直专业
自动化
与其托盘，µ相®VERTICAL PRO可自动测量20 ~ 30个样品。
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测量球形，环形和非球面透镜以及玻璃，塑料或金属制成的样品
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样品半径最高精度可达50毫米
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可自由配置和快速交换样品架
µ阶段®普莱诺了
结构紧凑
µ阶段®PLANO DOWN具有紧凑的设计，适用于研究和开发以及生产中的平面组件的测量
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测量范围直径可达150毫米
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样品被放置在花岗岩板上，并从顶部测量
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振动绝缘通常是不需要的，因为单位有一个坚实的花岗岩底座
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设计紧凑，占地面积小
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由于高度可调的柱子，操作方便
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也可以由未经培训的人员使用，由于其直观和容易操作
µ阶段®普莱诺了
计划生产中的镜头
在生产过程中对光学平面的生产µ相进行高效的质量控制®PLANO UP是完美的选择。
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测量范围直径可达100毫米
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空间小，设计紧凑，可放置在生产机器旁边
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样品被放置在装置顶部的环形卡盘或三点支架上，从下面测量
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耐振动
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串行测量不需要中间调整
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也可以由未经培训的人员使用，由于其直观和容易操作
µ阶段®球面上
生产球体
在生产中，球表面可以被快速和经济有效地控制®球面。
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直径可达50毫米的测量范围
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空间小，设计紧凑，可放置在生产机器旁边
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样品被放置在装置顶部的环形卡盘或三点支架上，从下面测量
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耐振动
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串行测量不需要中间调整
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也可以由未经培训的人员使用，由于其直观和容易操作
µ阶段®圣/圣+ R
灵活且具成本效益
µ阶段®ST/ST+R可以在研发和生产中灵活有效地使用。
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平面和球形样品的测量
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紧凑的桌面架垂直测量占地面积小
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集成尖端/倾斜和xy平移工作台的最佳样品对齐
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纵轴粗细调节，精度高
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可选:半径数字测量装置
µ阶段®通用
最高的可变性
由于其多用途结构和模块化设计®UNIVERSAL在研发方面提供了最高的可变性
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2、4或6英寸测量系统，用于平面和球面的测试
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用于测量长半径的水平结构
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与其他传统的4英寸镜头兼容
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可选CGH支架，用于测量非球面，圆柱体或环形表面
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根据要求进行MTF和均匀性测量
µ阶段®定制解决方案
应用程序特定的开发
其模块化的结构和紧凑的设计，使µPhase®一个高度通用的干涉仪-甚至超出通常的测量要求。
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针对特殊应用，可基于标准组件实现定制化解决方案
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开发额外的定制组件和软件模块
对于超出通常测量需求的应用，TRIOPTICS为特定应用系统的开发提供全面的支持。其模块化的结构和紧凑的设计使μ相®一种高度通用的干涉仪。这意味着可以基于标准组件实现针对特殊应用的定制解决方案。我们选择所需的组件，并让我们的应用和软件工程师在必要时开发额外的定制组件和软件模块。
应用程序
µ阶段®干涉仪可实现以下测量和应用:
- 测量平面、球面、圆柱面、环面和非球面的反射
- 测量球面、环面和非球面透镜的绝对半径
- 自适应反射镜测试
- 透明样品波前变形的测量
- 隐形眼镜和成型工具的测量
- 超精密金刚石车床刀具更换后的快速离线或在线刀具偏移量测量
- 大量高精度非光学元件的测试
- 汽车应用程序
- 医学应用
软件
µ形状
干涉仪的软件
采用可自由配置的磁塑软件，目前版本8，磁塑相®在生产和研究和开发中都有理想的设备。该软件控制测量，提供全面的分析选项，并提供完整的文档。度量模板提供了度量过程的最大透明度，并允许快速记录测试结果。
结构清晰、菜单化的微塑用户界面始终符合微塑相的综合使用®并且可以通过可用的模块以多种不同的方式进行扩展。这些模块可以在任何时候添加，甚至在购买了µPhase®系统。
主要开发了微晶相塑型软件®操作，但也可用于操作实验室和车间干涉仪从其他制造商。定制功能的开发是可能的。
- 不同的访问级别允许特定于用户的访问选项，从管理员到生产用户
- 全面的、特定于上下文的直接帮助
- 易于使用，并且由于任何类型的测量任务和分析的模板都易于配置，因此用户需要的培训较少
- 舒适的再分析选项保存的测量不重新测量
- 轻松存储各种图形格式的图形(bmp, jpg等)
- 将单个参数或选定的数据字段快速导出为文本文件、二进制文件或其他常用文件格式(例如QED、Zygo XYZ、DigitalSurf、INT)，用于外部处理
- MetroPro兼容的文件格式扩展了任务描述中的样例参数
- 一个额外的2维多项式拟合
- 测量报告提供了结果的全面表示，并且可以以各种方式进行配置，包括客户标识
- 通过校准和测量过程的单独可视化，程序模式的清晰结构化表示
- 以测量值的形式全面呈现测量参数，以2D或3D图形或可自由选择的切片图形(1D)，包括集成的实时摄像机图像
- 通过存储所有参数和设置，包括窗口大小和位置，快速测量重复性零件，样品文件在一个µShape™程序文件中
- 灵活和自定义屏幕显示，适应任何显示器尺寸
- 实时图像:显示在第二屏幕作为一个额外的窗口
- 总是最新的技术通过不断的开发和定期更新-按要求或作为软件的固定费率
- 完全兼容Windows 10(64位和32位系统)
“非球面”:在球面或CGH设置中的非球面分析
- 非球面模块允许在计算机生成的全息图(CGH)的帮助下分析非球面设置中的强非球面，也允许在球面设置中分析弱非球面。可以输入和保存非球面的描述。支持各种格式(旋转对称)。剩余的调整误差以及系统设置误差由非球面调整配合来补偿。
“气缸”:气缸分析
- 圆柱体模块在圆柱体设置(CGH)中分析圆柱体样品。其余的调整误差由圆柱形调整配合补偿。
“Extern Interface”:外部通信接口
- 外部接口模块允许在µShape™和外部软件(如LabVIEW™)之间通信，通过外部程序控制干涉仪，例如在自动化系统中
“FastFringe”:静态条纹分析
- 该模块能够在不稳定的环境下或使用无移相装置的干涉仪进行测量时分析单个干涉图。
“光纤连接器”:光纤连接器分析
- 根据国际IEC公约，光纤连接器模块允许分析光纤连接类型PC(物理接触)的端面。主要参数的收集只需要一次测量;这包括可选的通过/失败分析显示。
“均匀性”:测量透明样品的均匀性
- 影响穿过样品的光程的两个方面，即均匀性(折射率的变化)和厚度的变化，都可以在单独的程序模式中确定。
“数学模式”:数学模式
- 这种程序模式允许结合数学计算对结果的附加分配进行各种数据分配的分析。矩阵计算是不可能的。
“多光圈”:一步多光圈分析
- 该模块允许在一个视场内对单个不连接的孔径进行联合测量和分析，例如用于测量安装在抛光头上的组件。
同时测量非连接孔径的可能性也使一个楔形分析．该分析可用于确定平板反射镜的楔形角，以及在物体后面附加一个反射镜的平板转移板的光学楔形。
“多重统计”:对多个子孔径进行相同的统计分析
- 如果样例规范为同一样例的不同子部分定义了不同的限制，那么MultiStat模块允许在单个测量中对所有子区域进行相同的分析。每个部分的结果分别发布。
“MTF/PSF”:MTF分析
- 在光学领域，MTF被用来描述光学系统的质量。该模块允许计算焦距和非焦距光学元件和系统的MTF
“棱镜”:棱镜分析
- 通过分析90°或0°目标角的误差偏差所观测到的干涉图样，可以干涉测量90°和三棱柱的角误差。
“粗糙度/ PSD”:粗糙度与PSD分析
- 该模块允许沿可自由定义的直线计算功率谱密度(PSD)以及粗糙度参数。
“样本正态数据”:考虑已知样本偏差
- 使用样本数据(样本正常数据- SND)可以识别额外的样本误差，并将其包含在测试中，例如由于光学设计(基于设计的标称值)造成的偏差。
技术数据
| 参数 | µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 普莱诺了 |
µ阶段® 球面上 |
µ阶段® 圣/圣+ R |
µ阶段® 垂直3 |
µ阶段® 垂直专业 |
µ阶段® 通用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 利用 | 生产 | 生产 | 生产 | 研发、生产 | 研发、生产 | 生产 批量测量 |
研发 |
| 样本类型 | 平 | 平 | 球形 | 平 球形 |
平 球形 复曲面的 非球面 |
球形 复曲面的 非球面 |
平 球形 复曲面的 非球面 圆柱 |
| 样本量(测量范围) | 不同版本 达到最大值。Ø 150 mm |
不同版本 达到最大值。Ø 150 mm |
样本大小取决于测量目标 | Max。Ø50毫米 样品大小取决于版本和测试镜头 |
Max。Ø 100 mm 样本大小取决于测量目标 |
理想的小直径 | Max。Ø 150 mm 样品大小取决于版本和测试镜头 |
| Max。样品重量 | 5公斤 | 1.5公斤 (根据onconfiguration) |
1.5公斤 (取决于配置) |
1.5公斤 | 1.5公斤 | 1.5公斤 | 1.5公斤 |
| 校准工具 | 手动倾斜 | 手动倾斜 | 手动调整XY，倾斜台和z对焦(几毫米) | 手动XY调整， 倾斜台和z对焦 |
手动倾斜台 手动XY表 电动的，电脑控制的z轴 |
电动，电脑控制X/Y/ z轴 | 手动倾斜台 手动XY表 手动z轴 |
| 测试范围半径测量 | 不可用 | 不可用 | 通常是10毫米…200毫米 相对半径测量相对于半径法线，范围取决于测试目标和支架 |
约220毫米 用量规测量绝对半径(模拟或数字) |
300到500毫米取决于测试光学 集成，自动化绝对半径测量 |
最大50毫米 集成，自动化绝对半径测量 |
可达2米，取决于测试目标和半径测量轨的长度 综合绝对半径测量 特别是对于长半径 |
| 精确半径测量 | - | - | 取决于半径法线的精度 | 取决于压力表: 0,盘中µm |
5 μ m整体 2 μ m / 10mm 附加量规可达0.1 μ m |
±0.1µm | 30µm |
| 维 (高x宽x深) |
基础: S: 300 x 300 mm²(自由工作距离180 x 180 mm²) L: 440 x 440 mm²(自由工作距离330 x 330 mm²) 自由工作高度:110毫米/ 155毫米/ 200毫米 |
500 × 200 × 200 mm³ | 500 × 200 × 200 mm³ | 500 × 300 × 400 mm³ 移动范围160-300毫米(取决于配置) |
780 × 350 × 422 mm³ | 350 × 530 × 750 mm³ | 500 × 2500 × 400 mm³(宽度根据导轨长度而定) |
| 重量 | S: 25公斤L: 45公斤 | 5公斤……20kg(视配置而定) | 5公斤……20kg(视配置而定) | 20公斤 | 60公斤 | 100公斤 | 30kg(视配置而定) |
| 类型 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 | 桌面设备 |
| 选项 | 传输测量 | 通过插件;多孔，摆动，工具偏移 传输测量 |
CGH支架，用于测量非球面、圆柱面或环面 通过插件;多孔，摆动，工具偏移 传输测量 |
技术资料®传感器
| 参数 | µ阶段®3．1 | µ阶段®3.2 | µ阶段®3．3 | µ阶段®3.3(饮料) |
|---|---|---|---|---|
| 相机的分辨率 | 608 x 608像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 | 1216 x 1216像素 |
| 反射的设置 | 固定的设置, 适合4%…80% |
固定的设置, 适合4%…80% |
0.5%， 1%， 4%， 80% | 0.0%， 1%， 4%， 80% |
| 测量波长 | 632.8纳米 其他按要求提供 |
632.8纳米, 其他按要求提供 |
632.8纳米, 其他按要求提供 |
632.8纳米, 其他按要求提供 |
| 重点选择 | 没有 | 没有 | 是的 | 是的 |
| 维 (高x宽x深) |
121毫米x 97毫米x 57毫米 | 121毫米x 97毫米x 57毫米 | 121毫米x 97毫米x 57毫米 | 121毫米x 97毫米x 57毫米 |
| 重量 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 | 1, 1公斤 |
| 类型 | 特曼-格林移相干涉仪 | 特曼-格林移相干涉仪 | 特曼-格林移相干涉仪 | 特曼-格林移相干涉仪 可转换为Fizeau测量模式 |
| PV重复性 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 | λ/ 400 |
| RMS Rep可食用性 | λ/ 1200 | λ/ 6500 | λ/ 6500 | λ/ 6500 |
| 基于pc的测量不确定度评定 | λ/ 20 其他按要求提供 |
λ/ 20 其他按要求提供 |
λ/ 20 其他按要求提供 |
λ/ 20 其他按要求提供 |
升级和配件
- µ相的替换®μ相传感器®1 ~µ®3.3摄像头分辨率从608 x 608像素增加到1216 x 1216像素
- 标准波长632.8 nm，可根据要求在355 nm至1100 nm之间
- 水平或垂直支架
基本相®单元和平面透镜有一个卡口连接，允许各种系统结构之间的快速和容易的变化。 - 各种直径的平面和球面标定面
- 裸
- 镜像
- 允许在不直接访问µPhase的办公工作站进行离线分析和文档记录®硬件
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µLens SPHERO物镜与µLens SPHERO 10相结合 |
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µLens SPHERO物镜与µLens SPHERO 50相结合 |
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与InterOptics合作
独家合作伙伴InterOptics， LLC提供了更多的可能性。在德国和一些国家我们销售我们的产品®以及OptoFlat干涉仪——平面光学的专家。
OptoFlat
平面光学专家
短相干干涉仪OptoFlat专门用于测量平面光学。
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可以生产和研究亚纳米精度的平面度干涉仪
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LED照明系统最大限度地减少相干伪影
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没有键盘输入的手触摸传感器开始测量
知识库
干涉仪
Twyman-Green设置
最灵活的干涉仪设置
特曼-格林干涉仪是改进型迈克尔逊干涉仪。这里分束器与参考面分离。这种配置的优点是更大的灵活性，因为两个干涉仪臂可以彼此独立地修改。因此，参考臂和测试臂的强度可以很容易地根据不同的样品反射率相互适应，以获得最大的条纹对比度。这大大增加了应用程序的范围。只有最大的条纹对比度才能在深度上获得最大的分辨率。参考表面可以是一个表面是便宜的和准确的生产，而不考虑样品的大小。对样品大小的适应是通过引入到测试臂的常规光束整形光学来完成的。与菲索干涉仪的光束整形光学相反，这些光学不需要昂贵的菲索表面作为最终表面。
由于这种灵活性，干涉图样不仅是由样品误差引起的，而且是由单个干涉仪臂上附加光学元件的像差引起的。然而，现在的样品评价已不再通过目测条纹图，而是通过计算机控制分析产生条纹图的相图。在分析过程中，可以很容易地考虑到附加光学的像差。最后，软件给出了客观的数字测量结果。
为专家提供更多知识
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Twyman-Green建设
斐索干涉建设
菲索干涉仪用于波前和表面测量
斐索干涉设置
最常用的干涉仪设置
光束整形光学的最后一个表面是所谓的菲索表面。它必须与被测样品具有相同的形状(通常为球形或平面)，并同心放置在光程中，因此单个射线相交于菲索表面垂直。大部分光通过斐索表面并在测试表面反射。返回的光与斐索表面反射的那部分光相干扰。因此，斐索表面既是分束面又是参考面。因此，空腔是由菲索和不含额外光学元件的测试表面之间的间隙形成的。这就是为什么菲索干涉图通常直接显示被测样品与参考曲面(即菲索曲面)的偏差。菲索表面的质量决定了菲索干涉仪的精度。斐索表面通常具有λ/10 - λ/ 20pv的质量，根据要求更好。