产品宣传册

wavessensor & WaveMaster®手册
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介绍:WaveMaster®IOL 2
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WaveSensor & WaveMaster^®

Shack-Hartmann波前传感器

为了保证生产后复杂光学设计的实施，必须使用合格的测量技术。波前测量特别适合于这一目的，因为它在空间分辨率的基础上确定图像质量，即所有场角和整个样本孔径。与传统的MTF测试相比，这不仅会导致基于点的质量测量，而且还会在整个孔径上连续对齐。

高的灵活性

具有最大动态范围高达2000 λ，波传感器和波大师^®允许高度灵活的镜头设计被测量。

可重复高精度

除了高达λ/20 (RMS)的测量精度外，由于紧凑，坚固和抗振动的设计，还可以实现λ/200 (RMS)的高重复性。

直接的评价

实时地将测量的波前数据结果与样品透镜或设计值进行比较和评估。

产品概述

这些传感器实时分析整个光学排列或单个表面，提供波前(PV, RMS)、泽尼克系数、点扩散函数(PSF)、调制传递函数(MTF)、斯特拉比、曲率半径和非球面系数的确定。因此，它们不仅可以得出关于质量控制的结论，而且还可以得出关于生产过程的结论。

WaveMaster^®PRO 2 / PRO 2晶圆/
PRO 2计划

透镜、晶圆系列测试

WaveMaster^®PRO 2用于镜头组件和光晶片的系列测试

全自动测量高样品量(晶片或负载托盘)
每个镜头的测量时间小于3秒，测量步骤提供了高的样品吞吐量
高可重复性

WaveMaster^®场

离轴波前测量

的WaveMaster^®用于测试大视场角下的单镜头和物镜。

在视场角度高达60°的通用波前检测
灵活和简单的调整个别的入射角和波长
可变样品夹允许适应不同的样品类型-研发的理想选择

WaveMaster^®计划

平面样品测量

的WaveMaster^®Plan适用于使用Shack-Hartmann传感器进行波前分析的平面质量检测。

平面光学元件的综合波前分析
快速简便的测量:手动放置样品，并通过X-Y表进行调整
采用抗振动结构，测量系统稳定，与环境无关

WaveMaster^®紧凑的2

用于研发的传输测量

WaveMaster^®Compact 2提供单透镜和光学系统的波前测量质量控制。

单透镜波前测量的研发和质量控制
测量和分析整个镜头组合在传输

WaveMaster^®紧凑2反射

用于研发的反射测试

WaveMaster^®紧凑2反射允许测量表面地形和单一透镜的曲率半径

单透镜波前测量的研发和质量控制
反射表面拓扑的测量与分析

WaveMaster^®Compact 2通用

透射和反射测试

利用WaveMaster可以实现波前和表面地形的联合测量^®Compact 2 Universal。

单透镜波前测量的研发和质量控制
测量和分析整个光学在传输和表面拓扑反射

应用程序

对体积小、重量轻的紧凑透镜系统的需求在许多情况下导致用一个非球面光学装置取代多个球面透镜。此外，在生产过程中已经执行的质量控制变得更加重要。在许多情况下，传统的测量方法不能用于这些测量任务。由于其较大的动态范围，使用Shack-Hartmann传感器进行波前测量代表了这里的解决方案。

软件

波传感器或波主^®软件

该软件结构全面，用户友好，包括测量和分析球形和非球形样品所需的所有功能^®或WaveMaster^®．由于其灵活的可配置性，所有重要的测量结果都显示出来。

该软件与沙克-哈特曼传感器通信，并实时分析测量的波前。此外，WaveMaster^®例如，控制测量系统以校准样品。

清晰，菜单引导和可配置的操作
简单直观的测量和分析整个透镜组件或表面的实时波前
一个软件的一切:数据采集，数据计算，校准和数据显示
绝对和相对测量模式，与ZEMAX和Code V的理论设计数据或参考镜头进行即时比较
通过输出测量证书完成文档
清晰的描述在可调的测量和分析范围
- 二维波阵面
- PV和RMS
- 强度
- 相机图像
通过多个参数化完成地表形貌描述:
- 非球面方程
- 泽尼克多项式
- 锥形方程
- 球面方程
- 自由表面

技术数据

Shack-Hartmann传感器

WaveSensor	150	150带反射模块
传感器领域	15毫米x15毫米	15毫米x15毫米
波长	405纳米…1100海里^1）	405纳米…1100海里^1）
波阵面精度	< λ/20 (rms)	0.05 μm(均方根)
波阵面可重复性	< λ/200 (rms)	0.005 μm (RMS)
动态范围	2000年λ	2000年λ
测量频率	高达12赫兹	高达12赫兹
横向分辨率	138 x 138微透镜	138 x 138微透镜

研发

WaveMaster^®	紧凑的2	紧凑2反射	Compact 2通用
样品直径	0.5毫米…14毫米^{2), 3)}	4.5毫米…18毫米^{3), 5)}	传动:0.5毫米…14毫米^{2), 3)} 反射:4.5毫米…14毫米^{3), 5)}
法兰焦距	- 30mm…+ 100毫米^4）		- 30mm…+ 100毫米^4）
曲率半径		-50毫米…300毫米⁶⁾	-50毫米…30毫米⁶⁾
样品架	单座，手动定位	单座，手动定位	单座，手动定位
最大的非球度		≤7°⁷⁾	≤7°⁷⁾

WaveMaster^®	计划	场	科大
样品直径	0,5毫米…14毫米^{2), 3)}	0,5毫米…14毫米^{2), 3)}	最大1100毫米x 650毫米x 1200毫米
样品架	单座，手动定位	单座，手动定位	定制镜头支架接口
最大样本重量			450公斤
最大距离对象与像平面			1200毫米
Max。场维图像侧		±20毫米	100毫米× 100毫米
Max。字段维度对象侧		°±70	70毫米x45毫米

生产

WaveMaster^®	箴2	PRO 2晶片	PRO 2计划
样品直径	0.5毫米…14毫米^2）	0.5毫米…14毫米^2）	0.5毫米…14毫米^2）
法兰焦距	-12毫米…+ 50毫米^2）	-12毫米…+ 50毫米^4）
样品架	托盘	晶片夹	托盘
每个镜头的测量时间	< 3秒⁸⁾	< 3秒⁸⁾	< 3秒⁸⁾
每小时样品吞吐量	≥1200个镜头⁸⁾	≥1200个镜头^3）	≥1200个镜头⁸⁾
每盘镜头	马克斯。148^2）		马克斯。148^2）
换镜盘的时间	十年代	十年代	十年代
晶圆盘交换时间，包括对齐。	< 2分钟	< 2分钟	< 2分钟
新镜头设计的设置时间	< 5分钟	< 5分钟	< 5分钟

1)可根据客户要求定制
2)取决于望远镜
3)更多细节要求
4)取决于显微镜
5)取决于曲率半径和透镜的照度
6)取决于样品直径和透镜的照明
7)最佳拟合范围的局部偏差
8)视样品而定

下载技术资料

请求WaveMaster®

升级及配件

所有的浪主^®系统具有灵活的设计，因此可以适应应用程序的特定需求。

WaveSensor & WaveMaster^®一般

通过对样品进行个别调整，就可以进行完整的分析。运动支架可以简单地交换光源和望远镜。

不同波长和数值孔径的光源
用于在样品和传感器之间实现最佳放大倍率的望远镜
不同曲率半径表面的透镜组件
样品盒和托盘
参考样品

WaveSensor & WaveMaster^®软件

针对测量任务，通过特定模块对软件功能进行优化:

ZERNIKE分析模块

实时Zernike拟合和波前分析
拟合结果和残差的数值和图形显示
从ZEMAX和CODE V中导入波前设计数据进行实时比较
导出ASCII和ZEMAX格式的波前数据和分析结果

MTF/PSF分析模块

实时计算和显示三维MTF和PSF数据
表与MTF测量结果
输出功能的测量结果
Strehl比率的计算

WaveMaster^®术后2

测量范围的扩展
环面透镜升级(自动标记检测，简化MTF测量，视觉检测)
升级到546纳米
不同光圈尺寸的镜头架
模型眼，可选加热

知识库

用沙克-哈特曼传感器测量波前

沙克-哈特曼传感器工作原理及波前分析

沙克-哈特曼传感器的标准设计是将一个CCD相机置于微透镜阵列的焦平面上。微透镜阵列的透镜对入射波前进行采样，在平面波前的情况下，焦点在相机上形成均匀间隔的点状。任何由样品透镜引入的像差都会导致波前的曲率，从而导致局部波前倾斜。这引起了每个焦点位置的可测量的转移。

对得到的斜率信息进行数值积分可以高精度地重建波前剖面。

与干涉仪相比，高动态范围

沙克-哈特曼传感器的动态范围很大程度上取决于将每个测量点分配给相应微透镜的算法。只有保持这种相关性，波阵面才能被重建。特别是在较强的弯曲波阵面情况下，由于简单地在微透镜大小的CCD平面上分配预定义的搜索区域已经不够了，因此需要复杂的算法。现代技术使波前动态范围达到1500 A。

由于这种高动态范围，沙克-哈特曼传感器能够测量具有强像差的波前，这是干涉仪无法达到的。

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